主题：【分享】icp2100DV（PE）

ICP2000/2100DV保养的内容:
一般检查：
（1）    查看仪器上次维修后整体的性能情况
（2）    检查输入电压及其接地电压是否正常

1.    机械/气路检查
(1)    检查以及清洁全部风扇以及过滤网
(2)    检查全部矩管部件,如有必要,要更换
(3)    检查全部管路,如管路出现裂缝或者漏液,要更换
(4)    检查蠕动泵是否正常运作
(5)    检查内部氮气,氩气及切割气压调整器,如有必要,要进行调整
氮气@20psi
氩气@75psi
切换气压@65psi
(6)    检查等离子气,辅助气以及雾化气流速
(7)    检查切割气喷嘴,看是否有阻塞以及流量是否正常均衡.吸入钇并且检查切割线
(8)    检查分光计及矩管气动部分,看是否漏气
(9)    检查氮气高/低吹扫气以及切割气电磁阀是否正常运作,如有需要,要更换
(10)    检查全部分光计马达的功能,从分光计DCM驱动马达
检查马达,线圈,如有问题,更换;设置分光计的螺杆以及齿轮位置(检查棱镜/光栅波长驱动器，狭缝,遮光器，DV镜，X/Y镜)
(11)    对冷却循环水进行预防性保养，要让客户意识到维持冷却循环液液面以及过滤网的更换的重要性
(12)    排清空压机气缸
(13)    清洁仪器外部

2.    电学方面
(1)    检查全部电路板
(2)    检查仪器软件及硬件,如有必要,要对仪器软件及硬件进行校正以及更新
(3)    运行仪器,从DCM进行诊断
RF发生器:1)检查RF发生器状态屏.2)检查全部连锁的功能3)运行能量范围测试
(4)    检查全部RF发生器以及分光计电源电压

3.    光学方面

(1)    检查氖灯是否正常运行。1）在能量上升时，确保氖灯初始化通过。2）在运行Mn对准校正时，要确保没有显示饱和错误编码100。3）要确保在DCM收集光谱窗口看到703.241nm氖灯线是一条单一的，亮度强烈（约在15，000-50000cts.之间）具有良好峰形的线。如果出现问题，要再生氖灯校正表。如再生了氖灯校正表，仍然出现问题，要更换氖灯装置。
(2)    要从ICPWinLab32分光计控制窗口里运行光学初始化程序，要确保光学初始化程序通过，没有出现任何的错误编码。
(3)    要确保暗电流测量（检测器校正）能在初始化通过。
(4)    先检查全部光学部件及净化管,然后再进行Mn Bec测试,如在测试时出现问题,如有必要,要清洁或者更换光学部件以及净化管。
(5)    从分光计DCM中检查光学仓里面全部的传感器。检查遮光器传感器初始位置。检查棱镜/电子温度传感器反馈值。若不正常，这些反馈值会以红色显示出来。标准的棱镜温度大约是29.5℃,标准的电子温度大约是35℃。
(6)    确保检测器冷却扇运行正常，从DCM里检查检测器温度约-7至-8℃。
(7)    检查光传输器件 (遮光镜，DV镜，X/Y镜) 是否正常。
(8)    检查狭缝装置运行是否正常，这能够用小狭缝与大狭缝从DCM里通过运行手动棱镜扫描进行检查。如果两狭缝点之间的扫描宽度以梯形状变化，这足以证明狭缝变化是正常的。
(9)    清洁轴向及径向观察窗,如有必要,要更换他们。
(10)    检查DV附件装置的光学部件。
(11)    检查切割气管

4.    性能测试
(1)    按照A&T参数或者仪器试运行程序进行Mn测试
(2)    整体系统运作最后检查

jackcong：这个维护保养我之前已经以附件的形式传过了，但还是很谢谢你