主题：【学习心得之十六】交流液-质真空度不够的实例

原文由 zhufangwei 发表:
昨天晚上换了一下泵油，重新开机，按照常例抽了两个小时打开电子开关，真空状态提示为“Manifold pressure Too High:Disable HV”。上次重开机也发生过这样的情况，不过约半个小时就提示Vacuum OK了。这回就不那么走运了，从晚上6点开机完成等到晚上12点还是提示“Manifold pressure Too High:Disable HV”。没得办法等到今天造成来看才提示Vacuum OK了。以前是一开机都提示真空度正常的。

以前没特别留意Turbo pump:Running下面一些参数的值，昨天特别留意了一下。
speed(HZ):750, power(w):74.4
Temperature(℃)：41，life Time(Hour):15538.7

Temperature昨天就在升，昨天升到43℃。今天看变成45℃了。是不是能从这些参数间接的看出分子涡轮泵是否正常工作。

为什么现在开机了要等那么常时间真空度才正常呢，难道是因为换油的原因么，油是冷的问题不够，还是因为分子涡轮泵的原因。大家都来讨论一下哈。

原文由 zhufangwei 发表:
是不是泵油加的不够啊

不是的，是加在最低刻度线和最高刻度线之间的，靠近最高刻度线

原文由 tanggangfeng 发表:

原文由 zhufangwei 发表:
是不是泵油加的不够啊

不是的，是加在最低刻度线和
不是的，是加在最低刻度线和最高刻度线之间的，靠近最高刻度线

能看得到真空压力显示吗？一般 机械泵的能抽到3torr以下，分子涡轮泵在10 的-6次。  还有一点 ，你们以前升温也怎么慢 ？ 我们升的很快的，1.5-2个小时可以升到所需的温度。

原文由 blaghair 发表:
是不是漏气了

原文由 tanggangfeng 发表:
应该不会吧，你在注意下，开机后真空度是否比较快的抽到10的-5  ，一般很快能抽到10的-5  ，如果长时间抽不到，漏气的可能性比较大。机械泵那里的，紧固件最好看看，是否松了，你唯一动过的就是机械泵，那从机械泵开始查。

原文由 zhufangwei 发表:

原文由 tanggangfeng 发表:
应该不会吧，你在注意下，开机后真空度是否比较快的抽到10的-5  ，一般很快能抽到10的-5  ，如果长时间抽不到，漏气的可能性比较大。机械泵那里的，紧固件最好看看，是否松了，你唯一动过的就是机械泵，那从机械泵开始查。

很快能达到8e-6，不过还是提示真空度过高。