原文由 zhufangwei 发表:
昨天晚上换了一下泵油,重新开机,按照常例抽了两个小时打开电子开关,真空状态提示为“Manifold pressure Too High:Disable HV”。上次重开机也发生过这样的情况,不过约半个小时就提示Vacuum OK了。这回就不那么走运了,从晚上6点开机完成等到晚上12点还是提示“Manifold pressure Too High:Disable HV”。没得办法等到今天造成来看才提示Vacuum OK了。以前是一开机都提示真空度正常的。
以前没特别留意Turbo pump:Running下面一些参数的值,昨天特别留意了一下。
speed(HZ):750, power(w):74.4
Temperature(℃):41,life Time(Hour):15538.7
Temperature昨天就在升,昨天升到43℃。今天看变成45℃了。是不是能从这些参数间接的看出分子涡轮泵是否正常工作。
为什么现在开机了要等那么常时间真空度才正常呢,难道是因为换油的原因么,油是冷的问题不够,还是因为分子涡轮泵的原因。大家都来讨论一下哈。
原文由 ren0478 发表:原文由 zhufangwei 发表:
昨天晚上换了一下泵油,重新开机,按照常例抽了两个小时打开电子开关,真空状态提示为“Manifold pressure Too High:Disable HV”。上次重开机也发生过这样的情况,不过约半个小时就提示Vacuum OK了。这回就不那么走运了,从晚上6点开机完成等到晚上12点还是提示“Manifold pressure Too High:Disable HV”。没得办法等到今天造成来看才提示Vacuum OK了。以前是一开机都提示真空度正常的。
以前没特别留意Turbo pump:Running下面一些参数的值,昨天特别留意了一下。
speed(HZ):750, power(w):74.4
Temperature(℃):41,life Time(Hour):15538.7
Temperature昨天就在升,昨天升到43℃。今天看变成45℃了。是不是能从这些参数间接的看出分子涡轮泵是否正常工作。
为什么现在开机了要等那么常时间真空度才正常呢,难道是因为换油的原因么,油是冷的问题不够,还是因为分子涡轮泵的原因。大家都来讨论一下哈。
一开始的时候是不是没有密封好?还有就是分子涡轮泵的温度我们一般保持的是40度。保护分子涡轮泵
原文由 zhufangwei 发表:
昨天晚上换了一下泵油,重新开机,按照常例抽了两个小时打开电子开关,真空状态提示为“Manifold pressure Too High:Disable HV”。上次重开机也发生过这样的情况,不过约半个小时就提示Vacuum OK了。这回就不那么走运了,从晚上6点开机完成等到晚上12点还是提示“Manifold pressure Too High:Disable HV”。没得办法等到今天造成来看才提示Vacuum OK了。以前是一开机都提示真空度正常的。
以前没特别留意Turbo pump:Running下面一些参数的值,昨天特别留意了一下。
speed(HZ):750, power(w):74.4
Temperature(℃):41,life Time(Hour):15538.7
Temperature昨天就在升,昨天升到43℃。今天看变成45℃了。是不是能从这些参数间接的看出分子涡轮泵是否正常工作。
为什么现在开机了要等那么常时间真空度才正常呢,难道是因为换油的原因么,油是冷的问题不够,还是因为分子涡轮泵的原因。大家都来讨论一下哈。
原文由 xiaozhuyangyang 发表:
这两天刚好我们实验室的分子涡轮泵坏掉了.老师今天在那讲大家都不汇报温度高上去,实际上在老早以前温度就上到了50以上,比你们的40几要恐怖多了,我们都是做登记的,她自己都不关注!
但是话说回来,我们以前在温度57的时候做下来也感觉一切正常啊,真空也并不是需要特别久才能达到,不过我们这一般建议做过维护后抽过夜的.原文由 zhufangwei 发表:
昨天晚上换了一下泵油,重新开机,按照常例抽了两个小时打开电子开关,真空状态提示为“Manifold pressure Too High:Disable HV”。上次重开机也发生过这样的情况,不过约半个小时就提示Vacuum OK了。这回就不那么走运了,从晚上6点开机完成等到晚上12点还是提示“Manifold pressure Too High:Disable HV”。没得办法等到今天造成来看才提示Vacuum OK了。以前是一开机都提示真空度正常的。
以前没特别留意Turbo pump:Running下面一些参数的值,昨天特别留意了一下。
speed(HZ):750, power(w):74.4
Temperature(℃):41,life Time(Hour):15538.7
Temperature昨天就在升,昨天升到43℃。今天看变成45℃了。是不是能从这些参数间接的看出分子涡轮泵是否正常工作。
为什么现在开机了要等那么常时间真空度才正常呢,难道是因为换油的原因么,油是冷的问题不够,还是因为分子涡轮泵的原因。大家都来讨论一下哈。
原文由 mcds 发表:原文由 xiaozhuyangyang 发表:
这两天刚好我们实验室的分子涡轮泵坏掉了.老师今天在那讲大家都不汇报温度高上去,实际上在老早以前温度就上到了50以上,比你们的40几要恐怖多了,我们都是做登记的,她自己都不关注!
但是话说回来,我们以前在温度57的时候做下来也感觉一切正常啊,真空也并不是需要特别久才能达到,不过我们这一般建议做过维护后抽过夜的.
我们每次都是换过泵油抽真空过夜的。