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主题：【求助】3C-SiC的HRTEM照片解析

浏览0 回复12 电梯直达
comet-2008
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发表于：2009/03/12 07:37:15 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品中有多余的C，Raman看出存在严重的Stacking Faults现象；TEM样品是用FIB切后，又减薄的；
  我不明白为什么图中有的地方晶格很清晰，有的地方很模？可能原因是什么呢？样品太厚，非晶区还是Stacking Faults原因呢？
先谢谢了

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2009/3/13 8:59:36 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
模糊的地方应该是结晶不好造成的。
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comet-2008
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2009/3/14 2:37:43 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
thank you, that might be one reason; but I realized that it looks like FIB process.
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2009/3/14 7:56:18 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
非常好~~~~~~沒什麼意見
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iamikaruk
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2009/3/14 19:08:53 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对图像做下FFT，我觉得一是带轴不正，二是有非晶影响
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comet-2008
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2009/3/14 21:11:15 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对不起，怎么判断带轴不正呢？在操作过程中怎么避免呢？非晶也有可能，是在离子减薄的时候造成的。
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2009/3/14 22:55:07 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看电子衍射判断带轴是否正。非晶可以尝试用低电压离子清洗一下。
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天黑请闭眼
shxie
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2009/3/15 13:42:52 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 comet-2008 发表:
对不起，怎么判断带轴不正呢？在操作过程中怎么避免呢？非晶也有可能，是在离子减薄的时候造成的。


我也觉得是带轴不正，一般带轴正的话，能看到两维的晶格条纹。
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comet-2008
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2009/3/16 6:18:51 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
既然是非晶了，用低压等离子清洗目的是什么呢？
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comet-2008
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2009/3/16 6:24:15 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FFT转换后斑点少并且模糊，不是规则的SiC晶体衍射图，估计“iamikaruk”和您的说话一致
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iamikaruk
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2009/3/16 16:28:22 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 comet-2008 发表:
既然是非晶了，用低压等离子清洗目的是什么呢？

能够去除样品表面非晶
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