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主题：【求助】真空泵好像堵塞了，抽不下去

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idsl
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发表于：2009/05/05 18:01:06 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
急，也不知道发在这边合不合适，好像惹大祸了，肯请各位看看。我这边等离子刻蚀机抽真空时把一些胶给抽进管路里去了，现在腔体的真空度抽到30多帕就抽不下去了，各位看看是哪边出问题了，该怎么办？谢谢！
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2009/5/5 19:02:54 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果还在管路就停泵,把管路里面的东西拿出来,实在不行换管子.如果进到泵里面了,换油,清洗真空泵.
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idsl
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2009/5/5 19:11:16 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢啊，后来又抽了好多次，估计已经到泵里面去了...机器用不了要被骂死了...明天再去试试看了
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雾非雾
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2009/5/6 8:11:19 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果可能一段段查看，看到底有没有抽到泵里，还是在哪堵住了。
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東成西就
zhangxiaohg
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2009/5/6 13:05:16 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你把泵打开，换一下机油，最好用油多洗几次，能取出来的。
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峰 (Davon)
dongli5203
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2009/5/6 16:23:35 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
换下管子，再试试看
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