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主题：【讨论】最近关闭或打开Lens时，怎么老有几声气阀的响声？

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tygk98
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发表于：2009/07/12 19:53:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们用的是Jem-2010，以前关闭或打开Lens时，只有一声关机或开机的响声。最近关闭或打开Lens时，老有几声气阀的响声。不知是什么原因？是否属于正常？大家是否遇到过这种情况？请有经验的人谈一谈。
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2009/7/12 20:05:54 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是样品杆下面的绿灯也灭了？如果是这样话，我也遇见过，等一会儿机器会自动把真空抽好的，你可以打开P-3页，看一下哪个灯灭了，
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2009/7/13 8:04:40 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jem-2010 发表:
是不是样品杆下面的绿灯也灭了？如果是这样话，我也遇见过，等一会儿机器会自动把真空抽好的，你可以打开P-3页，看一下哪个灯灭了，


这个我到没注意，今天我再观察一下。
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2009/7/13 8:49:56 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
今天早上打开Lens后，没有再听到气阀响动的声音。
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天黑请闭眼
shxie
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2009/7/13 10:22:49 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jem-2010 发表:
是不是样品杆下面的绿灯也灭了？如果是这样话，我也遇见过，等一会儿机器会自动把真空抽好的，你可以打开P-3页，看一下哪个灯灭了，


Lens影响样品室真空？该烘烤了吧？
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2009/7/14 18:00:09 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
也没烘烤电镜，这两天又自动恢复正常了。
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