主题:【讨论】48V电压太低,然后等离子熄灭,什么原因呢?

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最近设备出现自动熄火,查看记录后:RF 48  Voltage is too low;plasma is shutdown.不知道什么原因,重新开机后就能用了,影响操作,耽误时间,很是头疼,大家解释一下什么原因,该怎么检修?谢谢
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原文由 shibingo 发表:
最近设备出现自动熄火,查看记录后:RF 48  Voltage is too low;plasma is shutdown.不知道什么原因,重新开机后就能用了,影响操作,耽误时间,很是头疼,大家解释一下什么原因,该怎么检修?谢谢

安的仪器吗?很正常,我发现这仪器经常会神经的,一段经常出现故障,然后折腾得大家都累了,他又恢复好了,正当我们意识到他变正常了,新毛病又出现了。累。。。
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