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原文由 jiekexun1018 发表:
另外，我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同，我的设置分别是7和87，LOAD CONDITION是2和82，后来我干脆改成3和78，感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗？请大侠不惜指教，万分感谢。
原文由 jiekexun1018 发表:所谓像散就是你在聚焦的过程中发现影像有变形或拉伸的现象。消除像散的方法就是先聚焦到影像不变形的位置，调操作平台上的stigma/alignmentX/Y 旋钮。无先后顺序，在调的过程中你会发现影像有一个从模糊变清楚再变模糊个过程。你就调到清楚的那个位置就行了。
小弟初学SEM，机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能，只能在低倍下可以用，高倍的时候图像很模糊（如5K）
还试了对照直方图调，也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整，还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下，发现清晰很多，在7k下基本可以看清，但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法，现在机器就我自己用，调不好，自己受苦。
另外，我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同，我的设置分别是7和87，LOAD CONDITION是2和82，后来我干脆改成3和78，感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗？请大侠不惜指教，万分感谢。
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