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主题：问: TEM样品化学溶液处理

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hhwchina
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发表于：2005/08/15 20:33:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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请问有没有用化学溶液处理TEM样品的,比如用HF酸吃一下?
推荐答案：shxie回复于2005/08/18

半导体的处理我没怎么留意过，因为压根没有制样设备。不过你可以参考一本书：《金属电子显微分析》里面的样品处理应该有些可取之处的。
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2005/8/15 21:48:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hhwchina 发表:
请问有没有用化学溶液处理TEM样品的,比如用HF酸吃一下?

化学腐蚀双喷制样？
你用HF酸溶解什么呢？Si基底吗？处理时候要小心，浓度不宜过大，处理后的样品要容易收集才好。
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2005/8/17 19:39:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用于半导体材料的oxide腐蚀
还有准备用于junction以及implant area的etch
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2005/8/18 7:04:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hhwchina 发表:
用于半导体材料的oxide腐蚀
还有准备用于junction以及implant area的etch

半导体的处理我没怎么留意过，因为压根没有制样设备。不过你可以参考一本书：《金属电子显微分析》里面的样品处理应该有些可取之处的。
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