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主题：【讨论】请教个用电子能谱看厚度的问题

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发表于：2009/09/28 16:36:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想用AES 看异质外延膜的厚度,外延膜的大致厚度知道,只是想用AES 精确测量,那在打点的时候可以一下子打到我估计的那个厚度值么然后再做调整.还是得从表面开始一点点的打点?不是很关心组分随厚度的变化.
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2009/10/1 17:27:36 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
厚度多少？aes 测试信息深度比 xps浅。你是希望用离子枪溅射刻蚀的方法来测试厚度么？还是其他？要求助最好说详细点
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七月冰
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2009/10/7 22:28:42 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用AES看外延膜厚度有一个基本要求，一是样品要导电，二十外延膜中有一种明显区别于基体的元素成分。通过跟踪有区别的成分来标定从表面到界面。
试验方法可以采用断面线扫描和离子刻蚀两种方法，都是破坏性的。对于比较厚的膜层宜采用断面线扫描，膜层较薄的两种方法都可以。
离子刻蚀的方法如果要求精度不高，可以根据刻蚀时间估算，如果要求比较高可以先标定刻蚀速度。
XPS和AES的信息深度差不太多，不导电的就可以考虑用XPS了。只是XPS的线扫描方法精度在十微米左右，AES的线扫描最大精度可以达到十纳米以内。
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yuansu123456
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2009/10/9 12:59:44 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
恩，不错，
另外，如果很薄的话，还可以用改变飞离角（take-off angle）的方法进行无损厚度分析，似乎有这种技术，具体没做过。
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七月冰
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2009/10/9 13:06:16 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上说的是变角XPS（ESCA）我曾经做过，但是涉及imfp（非弹性散射平均自由程）的计算，所以比较麻烦，一般只用作相对厚度的比较。你的仪器应该是可以做的啊！为什么没有做过？
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