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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：大家来说说做电镜期间犯过的错误吧!

浏览0 回复46 电梯直达

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shxie

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2005/9/4 11:18:00 21楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sunkisser 发表:
曾经犯过两个错误：1.样品放的太高，碰坏镜头，花了两万才修好。
2.有一次因为事急，竟然没给一种含油的轴衬作除油处理就放到SEM里测试，结果镜头被严重污染。

你说的镜头是物镜光阑吗？

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shxie

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2005/9/4 11:19:00 22楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 SeanWen 发表:
就是害怕这个，一直都不敢将工作距离调得太小。

不拍高倍率的的确不用太小的工作距离，我们拍20000－40000就把距离调到5mm左右。

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sunkisser

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2005/9/4 12:39:00 23楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 shxie 发表:
你说的镜头是物镜光阑吗？

是，没错。

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Last edit by shxie

shxie

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2005/9/4 14:06:00 24楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sunkisser 发表:
是，没错。

那么清洗起来应该比较简单吧？难道就坏了不成？

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SeanWen

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2005/9/26 10:05:00 25楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

好帖一个～～希望大家借鉴一下

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rubyzsq

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2005/10/20 19:01:00 26楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我的第一个错误就是在安装工程师走后的第二天：
开机之后，登陆服务器，结果电镜连不上，检测不过去，吓的我赶紧给工程师打电话，人家一听我说的情况，就知道我在哪里反错了，因为没有打开电镜主机上的电源。哈哈，低级的错误啊！

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renxin

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2005/10/21 14:40:00 27楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sunkisser 发表:
曾经犯过两个错误：1.样品放的太高，碰坏镜头，花了两万才修好。
2.有一次因为事急，竟然没给一种含油的轴衬作除油处理就放到SEM里测试，结果镜头被严重污染。

好像您被宰了，更换物镜光阑打死一千人民币，您用的是fei电镜吗，所有厂家现在只有 FEI 还死抱着物镜光阑不放，其余的早就换成虚拟光阑了。
第二个错误听起来很严重，不过您的电镜应该是 W灯丝的，清洗镜筒耗时 2小时，一切恢复正常。

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2005/10/21 14:44:00 28楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 shxie 发表:
原文由 SeanWen 发表:
就是害怕这个，一直都不敢将工作距离调得太小。

不拍高倍率的的确不用太小的工作距离，我们拍20000－40000就把距离调到5mm左右。

不错，正是，但使用 INLENS 检测器的时候，我常常将 WD降至 1MM，很多次我甚至可以看到极靴顶端的静电透镜向样本放电，像打火花一样，很吓人。

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SeanWen

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2005/10/21 14:53:00 29楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 renxin 发表:
原文由 sunkisser 发表:
曾经犯过两个错误：1.样品放的太高，碰坏镜头，花了两万才修好。
2.有一次因为事急，竟然没给一种含油的轴衬作除油处理就放到SEM里测试，结果镜头被严重污染。

好像您被宰了，更换物镜光阑打死一千人民币，您用的是fei电镜吗，所有厂家现在只有 FEI 还死抱着物镜光阑不放，其余的早就换成虚拟光阑了。
第二个错误听起来很严重，不过您的电镜应该是 W灯丝的，清洗镜筒耗时 2小时，一切恢复正常。

我们用的电镜也要更换物镜光阑的，还好几千吧～～
另外，请问何谓‘虚拟光阑’呢？
谢谢～

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