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扫描电镜（SEM/EDS）

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仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

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主题：【求助】开机出现异常

浏览0 回复15 电梯直达

wcf333459

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发表于：2009/10/13 11:05:01 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

今天早上开机的时候,抽真空以后仪器自动放气,出现一个对话框“EVACUATION FAILURE please check related o-rings(Gun,stage,etc.)”，哪位大虾可以解释一下！谢谢！

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2009/10/13 11:12:18 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我也不知道，帮你顶下。。

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驰奔

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2009/10/13 13:39:23 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wcf333459 发表:
今天早上开机的时候,抽真空以后仪器自动放气,出现一个对话框“EVACUATION FAILURE please check related o-rings(Gun,stage,etc.)”，哪位大虾可以解释一下！谢谢！

请检查样品台和样品室之间，或者是电子枪部位的o形密封圈是否良好，如果破损可更换，一般随机都有配件。

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Frinight

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2009/10/13 14:14:41 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不好意思，您能不能更为详细得讲解一下您那边的情况？！
先报一下仪器的型号，钨灯丝还是场发射？您指的开机是否DISPLAY电源Power ON？之前您做过什么样的作业？等等。要不然工程师没法判断仪器的故障。

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fengyonghe

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2009/10/13 17:47:19 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

真空有故障，请检查有关的O型圈（电子枪、载物台等）。在抽真空的过程中如果检测系统发现真空度降低，就会出现你说的那些情况。

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Last edit by fengyonghe

wcf333459

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2009/10/13 19:53:25 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 hui7808 发表:
不好意思，您能不能更为详细得讲解一下您那边的情况？！
先报一下仪器的型号，钨灯丝还是场发射？您指的开机是否DISPLAY电源Power ON？之前您做过什么样的作业？等等。要不然工程师没法判断仪器的故障。

仪器型号:JSM-5610LV 用的是钨灯丝,就是早上正常开机,主机开了以后在抽真空的时候显示了那样的对话框

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beijingsem

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2009/10/14 13:54:59 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wcf333459 发表:
原文由 hui7808 发表:
不好意思，您能不能更为详细得讲解一下您那边的情况？！
先报一下仪器的型号，钨灯丝还是场发射？您指的开机是否DISPLAY电源Power ON？之前您做过什么样的作业？等等。要不然工程师没法判断仪器的故障。

仪器型号:JSM-5610LV 用的是钨灯丝,就是早上正常开机,主机开了以后在抽真空的时候显示了那样的对话框

用不掉纤维的绒布等蘸上酒精把样品仓门（特别是橡胶圈附近）擦拭干净，看看会不会好一点，这个地方脏了容易漏气

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alexzhtang

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2009/10/16 17:47:12 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

楼主的电镜和我差不多，我是JSM-5600LV，我也经常遇到这样的情况，建议从以下几个方面进行检查：
一.O形圈估计脏化，先把O形圈取下来用酒精擦拭一下，然后用真空脂均匀地抹在放置O形圈的地方，然后用酒精擦拭样品室仓门；
二.电子枪仓门的O形圈估计脏化，用同样的方法检查一下。

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驰奔

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2009/10/16 21:51:19 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 alexzhtang 发表:
楼主的电镜和我差不多，我是JSM-5600LV，我也经常遇到这样的情况，建议从以下几个方面进行检查：
一.O形圈估计脏化，先把O形圈取下来用酒精擦拭一下，然后用真空脂均匀地抹在放置O形圈的地方，然后用酒精擦拭样品室仓门；
二.电子枪仓门的O形圈估计脏化，用同样的方法检查一下。

是不是低真空更容易出现“脏化”？高真空似乎很少见这种故障！

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2009/10/16 23:54:04 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

机械泵自动关闭，说明系统漏气严重，不仅要检查O型密封圈，还要检查前级真空管路及接口，阀门，波纹管等。

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alexzhtang

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2009/10/17 15:01:49 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 srd2009 发表:
原文由 alexzhtang 发表:
楼主的电镜和我差不多，我是JSM-5600LV，我也经常遇到这样的情况，建议从以下几个方面进行检查：
一.O形圈估计脏化，先把O形圈取下来用酒精擦拭一下，然后用真空脂均匀地抹在放置O形圈的地方，然后用酒精擦拭样品室；
二.电子枪仓门的O形圈估计脏化，用同样的方法检查一下。

是不是低真空更容易出现“脏化”？高真空似乎很少见这种故障！

这种不存在高低真空脏化的区别，扫描电镜在使用的过程中来回的关闭仓门。再加上样品对电镜的污染，使用久了就会出现这个问题，不过没必要太担心，经常清洗就可以了！

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