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ID:laters
行业:其他
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ID:CHENGJINGBAO
原文由 laters(laters) 发表:请问色谱测试电子级硅烷或氯硅烷纯度的方法目前有公开的吗?哪位知道请指点下,暂时找到的,氦离子化检测器貌似可以,不过相关资料也比较少
ID:hzhhqt
ID:songzf1981
ID:lianlxh
原文由 songzf1981(songzf1981) 发表:电子级硅烷杂质含量比较少,最近我们也在做这个,我有美国半导体行业标准的硅烷分析标准,从老板那里搞的,没有电子版的,在分析其中的杂质时,用的高麦的DID检测器,HAYESEPD柱,呵呵,有问题可以交流。
ID:caoyured
ID:liqing1228