主题:戴安应用文献之-AN119半导体刻蚀酸中阴离子型氟化物表面活性剂的测定

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特殊行业应用实例:
    全氟化表面活性剂在半导体酸蚀刻溶液中起润湿剂的作用。酸蚀刻剂能够在二氧化硅材质上雕刻出细的划痕。在半导体的制作中,如果酸蚀刻剂的润湿性不好可能有气泡生成,这些气泡会附着在刻蚀表面,影响信号。可以通过增加少量的表面活性剂减少气泡的形成,从而提高溶液的润湿性。

下载链接:
http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/paperDetail.asp?ID=12249
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