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主题：戴安应用文献之－AN119半导体刻蚀酸中阴离子型氟化物表面活性剂的测定

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发表于：2005/09/21 09:24:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
特殊行业应用实例：
    全氟化表面活性剂在半导体酸蚀刻溶液中起润湿剂的作用。酸蚀刻剂能够在二氧化硅材质上雕刻出细的划痕。在半导体的制作中，如果酸蚀刻剂的润湿性不好可能有气泡生成，这些气泡会附着在刻蚀表面，影响信号。可以通过增加少量的表面活性剂减少气泡的形成，从而提高溶液的润湿性。

下载链接：
http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/paperDetail.asp?ID=12249
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2005/10/5 17:36:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
涨涨见识，虽然不懂这些。
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fangchength
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2009/4/9 13:22:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
来看看，虽然不懂。
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