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主题：【求助】测微米尺度半导体薄膜的厚度需要什么显微镜？

浏览0 回复6 电梯直达
dearmaximus
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发表于：2010/03/15 18:29:03 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请大家帮我分析一下，我想在玻璃或者硅上生长一层或多层金属氧化物薄膜，这些薄膜多数是半透明的，厚度在0.5-2微米之间，我希望能依靠一种光学显微镜对厚度有个大致的测量，然后根据结果改进我的实验参数，这就需要放大倍数在500倍以上，最好能达到1000倍甚至更高，但必须不能使用油镜。

我看了江南永新和上海长方的显微镜资料，发现金相显微镜和偏光显微镜似乎对我有用，我对这两种显微镜的用途不甚了解，不知道该买哪一款。
请热心的网友们帮我参谋参谋，谢谢了。
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2010/3/17 8:49:35 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这种薄厚一般是用干涉镜来测的,现在咱们国内还没有这类的显微镜,而且这种膜要求的测量精度应该在纳米级以下.如果你的物体可以做剖面观察的话,金相或者偏光是可以的,如果在两者中选择,那要看这种膜是否有偏光特性,当然了,现在的金相显微镜上也会带有简易的偏光,如果你想更详细的了解怎么来选择显微镜的话,建议你打电话咨询一下:021-65465021找赵工,另外提供给你一个网站:www.cnsmdp.com,上面有专门检查硅芯片的显微镜.
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我是砖家
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2010/4/6 20:46:32 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一块平晶就可以解决问题了吧
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我要改名
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2010/4/7 11:05:35 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用金相显微镜，透反射光的比较好。
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大笨狗
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2010/4/7 16:04:45 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 我是砖家(leicafans) 发表:
一块平晶就可以解决问题了吧

具体怎么解决？
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2010/4/11 23:57:46 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
搁上去看干涉条纹
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huiyu1981
huiyu1981
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2010/4/14 23:49:36 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大约多厚？
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