原文由 平凡人(zhaoyt1979) 发表:
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
扫描电镜图像有立体感,但实际是二维图像,在样品没有倾斜状态下,对平面尺寸进行测量,准确度还是靠的住的。
按照目前扫描电镜放大倍数误差正负10%以内的标准测算,楼主的0.1微米测量精度要求来推算,样品的结构尺度还是比较大的。一般原位大个2万倍足矣。
至于三维结构中的高度,据我了解现在有软硬两个方法,
软的:从图像灰度等级,依据二次电子产额与样品形貌的关系,推算样品高低不平的高度,从而模拟出三维图像。 这个对有些特殊样品比较有效,复杂样品很难说。很多厂商都免费送,成本低----这就很说明问题。
硬的,纯粹样品台多角度全对中步进旋转,每一步都进行图像存储,并且计算机自动数据分析,最后合成立体图像,类似全息照相,这个精度应该说比较高。成本也高。
据我所知,最好是六轴马达计算机导航驱动的样品台,才好用。
谢谢关注!
具备六轴马达计算机导航驱动的样品台的电镜都有哪些型号?
英国camscan的有一款, tescan也有一款,实际上,这两家似乎有技术上的相互支持。FEI似乎是最早提出这个商品化电镜功能厂商,几年前就听过他们介绍,在中国行不通,价格太贵。
立体对技术:需要硬件支持,即样品倾斜,倾斜轴保持恒定位置。同时需要软件进行自动合成立体图像。三维数码立体像,尺度就很容易计算了。