原文由 solo1981(solo1981) 发表:
电子束曝光机特色
CS3500FE系列
一、电子束流的稳定性极高,超过电子探针的指标,可达0.05%/小时。非常适合配
X射线波长色散谱仪(WDS)。它也是世界上唯一的配WDS后,化学元素的定量
分析结果达到电子探针水平的扫描电镜;同时也非常适合做为电子束曝光机的高
稳定光源。
二、镜筒上未配有Through-Lens探测器,而是在原位加入了自动法拉弟笼和在线束
流传感器两个装置,形成电子束流的反馈控制。因此,束流的稳定性得以保证;
三、大工作距离下的成象质量很好,图象景深好;
四、最大束流可达100nA,这也是配WDS很重要的一个指标;
五、有加速电压30KV和50KV两种规格。其中50KV的扫描电镜适宜于组成电子束曝
光机,因为它的前散射范围很小;
六、仪器的分辨率也很高,为1.5nm @ 25kV.
七、能配备电子束消隐装置,这是组成电子束曝光机的重要部件。
有点让我无法相信