主题：【求助】扫描电镜的图像调不清的原因是什么？

““Z轴”指的是样品表面到物镜底的距离，跟样品台位置有关；“WD”指电子束交点到物镜底的距离，跟物镜的汇聚能力有关。平时我们都是先定下“Z轴”，再用“WD”去适应“Z轴”的位置，这便是聚焦。 如果您需要一个特定的工作距离，那就在图像下方data zone工作距离里面输入您想要的数，再上下移动样品台（Z轴），在不调焦的前提下让图像变清晰。这是让“Z轴”适应“WD”的过程，当图像清晰时，“WD”和“Z轴”也会数值一致。这是聚焦的逆操作。”——asahi42

Z和WD的关系

图像不清楚，主要是聚焦和消像散没调好

原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
图像不清楚，主要是聚焦和消像散没调好

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如何调呢。

原文由 chasedreamzcj(chasedreamzcj) 发表:
初学扫描电镜，请高手指教：1、调焦技巧，WD与调焦、样品高度的关系。

                                                    2、扫描电镜的图像调不清的原因是什么？多谢！

1、
个人认为调焦没什么技巧，调节物镜焦距，从而使扫描光栅的高斯平面正好在样品的表面，这时候称作正聚焦，现象就是过聚焦和欠聚焦的都不如正聚焦对样品观察的清楚。
WD（工作距离）含义是：样品正聚焦时候，样品表面到物镜下平面的垂直距离。
假设你在样品台上同时装载两个样品，样品高度不同，如果样品台Z轴不动，这时对于两个样品进行观察，WD是不同的，高的样品WD值小，低的样品WD值大。
如果想要两个样品WD值相同，那么当完成一个样品聚焦后，保持物镜焦距不变，通过调节样品台Z轴聚焦（这个偶尔会用到），如果先观察高的样品，再观察低的样品，这时候需要升高样品台才会聚焦，但时刻注意高样品是否在安全工作距离之内，别发生碰撞。

2、扫描电镜图像不清楚。 安装环境条件合理，确保仪器没有故障前提下。
首先：搞清楚成像基本原理：你的放大倍数相对你所使用的末级束斑直径来说太高，或者你的曝光时间不够，这里特指扫描速度。降低放大倍数，直到清楚为止，或者提高曝光时间，直到清楚为止，这时候的图像质量，是由你所使用电子光学及成像系统条件决定的。
扫描电镜条件调节范围非常宽泛，所以也有几百倍调不清楚的。为了提高图像质量，主要是通过末级探针直径和放大倍数相匹配，合适的曝光时间。

其次：搞清楚如何缩小末级束斑直径尺寸：降低各级透镜的焦距， 这里聚光镜起到的作用最大，其次是物镜缩短焦距，也就使用小WD值；使用电磁透镜低像差条件，例如，高的加速电压，小的末级光阑，小的WD，良好的电子枪对中，活动光阑合轴等；最佳的象散校正。

再次：需要确认电子束样品作用区，信号发射区域，作用区才是决定空间分辨率的根本，这个涉及到加速电压的使用。

最后：前面获得的“高分辨”信号，只有合适的亮度和对比度才可以清晰的显示，所以亮度对比度调节不能忽视。

当然任何扫描电镜都有其极限能力，尽可能发挥其应有的水平。