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主题：【求助】求助，扫描电镜分子泵不运作

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zbs1956
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发表于：2016/04/19 13:31:21 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题是这样的：周一来上班的时候发现扫描电镜主机部分真空管道的洞里面发出高频嚣叫声（类似于冰箱压缩机启动的那种声音），声音时断时续的，但电镜还能够工作，由于事先有外单位的联系好要来测样，所以周一就只能顶着噪音继续测样。一直用到下午四五点，都能够使用，就是有持续的噪音。到了周二上班的时候（今天），发现没声音了，真空度也没了，重新pump以后，就听到机械泵抽完真空，然后分子泵一直没声音，界面提示也一直停留在waiting turbo speed，似乎是分子泵不工作了。
电镜是蔡司的supra 55，用了两年不到，刚过质保期，郁闷。联系过蔡司的售后，说是只能整体更换分子泵，价格非常非常高。想请教各位有经验的老师，这种情况是否是分子泵损坏或者是哪里的连接问题？解决方案只能是整体更换分子泵吗？万分感谢！
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2016/4/19 14:30:05 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感觉像是真空有泄露啊，你那里能做真空泄露检测么？
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zbs1956
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2016/4/19 16:16:59 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 cvbs11(cvbs11) 发表:
感觉像是真空有泄露啊，你那里能做真空泄露检测么？
真空泄露检测怎么做啊？从来没做过
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m3101900
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2016/4/25 11:04:19 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zbs1956(v3015175)发表:
原文由  cvbs11(cvbs11) 发表:
感觉像是真空有泄露啊，你那里能做真空泄露检测么？
真空泄露检测怎么做啊？从来没做过
这么尖锐的声音。你们还顶着做样品。。厉害。你不怕出事故吗。现在整坏了。整体换吧。觉得贵，你可以拆下来送出去尝试给分子泵维修点维修
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UNM
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2016/7/30 11:00:42 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有声音那可能真是分子泵坏了
不过可以让维修工程过来看看
也许是控制器坏了，那个比分子泵便宜得多
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Gavin阁老
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2016/8/3 9:41:55 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子泵坏的几率还是挺低的，没有必要上来就要更换的，一般仪器公司会给一个备件先用着，然后拆下来拿去维修，这样会很便宜只是需要等一段时间，分子泵在国内基本都可以维修时间最长也就一月内；蔡司有那么黑吗！？
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wangvwatd
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2016/11/1 13:05:42 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Gavin阁老(v2768487) 发表:
分子泵坏的几率还是挺低的，没有必要上来就要更换的，一般仪器公司会给一个备件先用着，然后拆下来拿去维修，这样会很便宜只是需要等一段时间，分子泵在国内基本都可以维修时间最长也就一月内；蔡司有那么黑吗！？


没有修的说法吧哈哈
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wangvwatd
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2016/11/1 13:06:40 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的设备也出这个问题了，最后怎么办的也是换新泵吗？
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fang_780812
fang_780812
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2017/1/4 23:15:41 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题解决了吗，我有个朋友专业搞分子泵的，一般是轴承的问题，叶片很少坏的。可以联系我帮你
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伯东
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2017/4/6 14:37:44 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
出现异响的，不建议在继续使用了，可以停机，用手拨动下叶片,看看叶片是否可动，如果叶片不动，说明内部转子也完全卡死了，建议送到上海伯东检测看看，检测不收费的
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下一个十年
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2017/12/7 9:51:41 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wangvwatd(v3003628) 发表:
我们的设备也出这个问题了，最后怎么办的也是换新泵吗？
请问您是怎么解决的，我们貌似也碰到这个问题了
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