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主题：【求助】DSC净化气气流速度降低

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idccu

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发表于：2010/07/17 11:37:03 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

这两天发现炉子净化气显示数值跟设定数值不一致，而且随着开机时间延长，会逐渐下降。

比如设定值为60ml/min时，显示值为57ml/min，然后缓慢降低，最低时到了51ml/min

不知道是什么原因？是钢瓶压力开的太小么？一般都开在0.01～0.05MPa之间，

这个气流速度是由流量计控制的吧？是不是管路堵住了？

请教一下各位大侠，现在检测都不能进行，急啊。

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2010/7/17 12:50:43 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

换瓶新气,把容易堵的管路清一下再看看.气路堵的可能性大.

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秋子

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2010/7/22 9:04:34 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 KK-yiqi(zhengkang) 发表:
换瓶新气,把容易堵的管路清一下再看看.气路堵的可能性大.

我们使用氦气作净化气，有时也会出现流量为0或下降的现象，工程师解释说是由于液氮制冷，氦气中如果有少量水分，会在仪器接口处管线冻住，可以加装水分过滤器或者将接口处管线截断一部分。

该帖子作者被版主 free365加 3积分， 2经验，加分理由：欢迎交流！

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KK-yiqi

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2010/7/22 11:06:22 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有没有结霜情况呢？哪里的氦气？含水多得能结冰。氦气流量大些是否可以解决？加个干燥器如何？

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idccu

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2010/7/23 16:25:20 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 KK-yiqi(zhengkang) 发表:
换瓶新气,把容易堵的管路清一下再看看.气路堵的可能性大.

我们只做室温以上得，所以不存在结冰情况，重新换了瓶氮气，满瓶的，检查钢瓶至仪器间管路，无问题，将流量计出口管路与炉子分开（即不连接炉子），检测出口管路，有气体流出，但电脑上显示数据仍为45ml/min（设定值为60ml/min），因为没有其他的流量计，所以不能检测出口管路的数值。

从上检测结果，说明跟炉子关系不大，同时仪器外部连接管路均为畅通，那么只可能是流量计那段管路发生问题了，请教一下各位专家，不知道有没有维修方法？更换新的老贵了。

设定值分别为10、50、100、150ml/min时，显示数值分别为1.1、32、52、64ml/min，从这些数值又感觉是哪里漏气。搞不定，郁闷中。。

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