实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8042207今日发帖：518 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
气相色谱（GC）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【求助】求SiHCl3的分析方法

浏览0 回复13 电梯直达
lulin292
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2010/07/23 23:16:36 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们这里新上了一台用于多晶硅生产中出现的SiHCl3，SiH2Cl2，SiCl4分析的7890A，但是我们这里的员工都是刚毕业的，只是接受过厂家培训，还不能够独立开发方法。求哪位达人提供以下这几个组分的分析方法，感激不尽！领导催的紧，求求大家了！
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
天天洗碗
binglang1985
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/24 12:47:23 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主具体检测哪些指标啊？用的是安捷伦的7890A吗？是不是让安捷伦专门设计的气相用来检测SiHCl3，SiH2Cl2，SiCl4分析的？和普通气相有区别吗？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
coffee8
coffee8
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/24 15:57:33 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主知道用什么检测器吗？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
天天洗碗
binglang1985
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/24 17:20:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 coffee8(coffee8) 发表:
楼主知道用什么检测器吗？


有见资料说是用TCD
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
guohua
guohua
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/25 8:51:07 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这种方法基本都是保密的，或者可以在网上搜索一下，好像用硅油类的色谱柱。

最好找机会学一下方法，只有厂家培训是不行的，开发方法是一个复杂的过程。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
2010/7/25 8:52:35 Last edit by guohua
天天洗碗
binglang1985
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/25 10:20:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那一般是毛细柱还是填充柱？三氯氢硅是卤代化合物，为啥不用ecd检测器？而且检测过程还有氯化氢气体，对柱子和tcd检测器都是有伤害的，不解啊
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
天天洗碗
binglang1985
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/25 11:41:19 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还有就是分离三氯氢硅/氯化氢/二氯二氢硅/四氯化硅可以根据其极性分离，一般是用哪种类型的色谱柱？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
guohua
guohua
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/26 0:24:22 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
肯定要用TCD了，ECD是不行的。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
天天洗碗
binglang1985
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/26 12:05:40 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 guohua(guohua) 发表:
肯定要用TCD了，ECD是不行的。


老师能否说说原因？谢谢
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
guohua
guohua
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/26 23:30:20 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 天天洗碗(binglang1985) 发表:
原文由 guohua(guohua) 发表:
肯定要用TCD了，ECD是不行的。


老师能否说说原因？谢谢


不敢。ECD是针对电负性杂质的高灵敏度检测器，能到ppb及以下级别，并不适合常量分析。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
wanghaitaofree
wanghaitaofree
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/28 10:43:51 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
俺知道。。TCD检测器 然后用DB-5或者HP-5做。不过气相得特制 因为 硅烷很容易被氧化 氧化就是硅颗粒。。如果不特制 那你仪器很快完蛋。
该帖子作者被版主 coffee8加 2积分， 2经验，加分理由：谢谢对大家的提醒！
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 【求助】求SiHCl3的分析方法
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁