实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8092145今日发帖：239 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【求助】求助：样品检测出现问题？

浏览0 回复4 电梯直达
kuuikaifeng
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2010/07/29 14:33:47 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家做SEM的时候要不要洗一下啊
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
蓝莓口香糖
drizzlemiao
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/29 16:51:09 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果不特殊清洗，硅片表面总是会有一层氧化物的。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
huangtao0307
huangtao0307
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/30 8:23:48 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 kuuikaifeng(kuuikaifeng) 发表:
大家做SEM的时候要不要洗一下啊
这两张是我用洗了的跟没洗的样品做的
。。除开这些的话，还有一个问题就是样品与衬底的那条黑线。。按比例看应该有170nm。。是由于界面的差异产生的呢 还是因为有其他相得生成啊?我的样品室在硅衬底上长非晶膜，没有刻意去长一层SiO2。。。但是EDS显示有少量的O元素。。现在就不太解 这黑线是什么了。。。老师觉得是SiO2，我觉得不是。。。

没有洗


洗过了


你们是不是一个单位的啊，问题性质和内容都差不多，你可以参考下这个贴子
http://bbs.instrument.com.cn/Topic.asp?threadid=2663867
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
fengyonghe
fengyonghe
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/7/30 23:50:16 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
回复的人不多，我是一直都没看明白哪是基体、哪是生长的膜、哪是亮线、哪是黑线。能不能用箭头标注下。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
2010/8/3 17:34:52 Last edit by fengyonghe
huangtao0307
huangtao0307
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/8/3 17:15:11 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 kuuikaifeng(kuuikaifeng) 发表:
大家做SEM的时候要不要洗一下啊


你的圖片怎么不見了
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 【求助】求助：样品检测出现问题？
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁