主题:TEM样品制备的三种基本方法

浏览0 回复23 电梯直达
hhwchina
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FIB如果每天能上机4个小时,我想一个星期下来就能做出来,甚至时间可以更短,哈哈。

我们经常用allied的polisher来磨wedge样品,很快,薄区很长,最后用pips打一会就好了。我们这的从美国回来的博士后都说这是他见过的最好的方法。
gamexxp
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如果FIB做普通样品很快,也很简单。
但是如果要定位在一个80nm长宽的地方作出合格TEM样品来,恐怕非易事。
记得精工一个应用工程师,搞了两个星期,给我们做出了一个马马虎虎的样品。后来是TDK一个有过10年经验的工程师来做,一个星期,没作出一个样品来,气呼呼的走了。
说实话,我觉得挑战性还是挺大的。三个工程师为一台机子,搞一天的样品,我一个小时就给他们全部否决了。大家都开玩笑,有心脏病的人别作这种样品。
gamexxp
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机械研磨有一个很大的问题,就是表层有1um左右的损伤层。所以,磨太薄容易引起原来的物质变化啦。看到已经不是原来的东西。
我们有很好的polish机,但一般我们只磨到10um就不磨了。
chenchang420
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lfp
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好象这三种方法的用途不太一样,我需要做观察细小夹杂如MnS、BN等,别人说离子减薄不适合,位错团太多,看不清楚。高手能否高之各方法的适用条件,及北京哪里有TEM且排队不那么费劲的地方?谢谢!
jefflin
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zg9km
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ivyyanming
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pupupu
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jyxz4
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