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主题：【求助】钛酸锶基底离子减薄求助

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miracle520
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发表于：2014/05/29 12:14:14 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近再用钛酸锶基底进行低温减薄，但是发现样品很难减透.有知道原因的大神吗？
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2014/5/29 14:08:54 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
之前同样的样品减薄速度如何，如果只是最近才出现这样的现象，可能需要检查一下离子枪
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miracle520
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2014/5/29 14:34:23 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 洪星二锅头(coime) 发表:

之前同样的样品减薄速度如何，如果只是最近才出现这样的现象，可能需要检查一下离子枪


之前钛酸锶也是很难减完，减薄仪问题没有问题，主要问题发生在钛酸锶，和低温减薄上面
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皓联达电镜测试
v2855434
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2014/5/30 17:33:26 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
STO本身就是比Si硬的材料，需要把它磨得薄一点再离子减薄，应该没有问题。而且其非晶层的控制会比Si容易很多。
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