快速导航采购仪器提醒

扫描电镜（SEM/EDS）

版主:

入住本版

专家:

仪器信息网

居民列表

仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

快速回复发表新帖最新帖

主题：如何选择加速电压？

浏览0 回复19 电梯直达

可能感兴趣

wuzl

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2005/11/22 14:35:00 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 SeanWen 发表:
原文由 wuzl 发表:
感谢你的资料。我的薄膜材料样品表面很平，颗粒大小约50nm。目前所拍的图像（X180K）衬度太低。请问有好的建议吗？

能把照片帖上来吗?

多谢!

赞贴

拍砖

shxie

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2005/11/22 21:56:00 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我还是那些话，呵呵，都说烂了：首先我没用过场发射，所以对此只是建议，其次我一般建议把WD拉近，这样能保证电子束更稳定。
你的照片有几个问题
1. 反差比较小，你说了表面很平，这个可以通过适当的倾转样品来稍加改善，但这么高倍率，这个方法比较难奏效。
2. 有一个地方（中间靠上）有个亮点，我觉得是杂质或者有轻微放电。建议拍这种照片闪开这些地方，因为这是偶然现象，没必要包括在结果中
3. 整体样品的有一点像散，或者是轻微的抖动。但是您第一次操作电镜就拍180K，这样已经很不错了。我觉得你可以通过一段时间操练来提高技艺，这个需要感觉。而且前期工作需要做的比较多，比如光路的对中。另外可以通过多处观察扫描，来寻找消像散的最佳点。
4. 您提到的电压问题我觉得没什么，场发射的灯丝亮度是钨灯丝的10000倍，电子束很细，即使降到8 Kv，如上面threedayin朋友拍的那个，完全没有问题。相反降低电压，还能出来更好的细节，但这个时候扫描的速度要放慢一点以提高信噪比
暂时想到这么多

赞贴

拍砖

Last edit by shxie

wuzl

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2005/11/23 8:43:00 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

感谢shxie的指教！你的建议对我进一步优化照片肯定有益。

赞贴

拍砖

renxin

禁止发帖修改昵称

ID：renxin

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2005/11/29 21:41:00 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wuzl 发表:
原文由 SeanWen 发表:
原文由 wuzl 发表:
对电镜刚入门，没有经验。请问各位应如何选择SEM的加速电压？和景深有关吗？

选择加速电压要根据样品的性质来考虑，对于不导电的样品或导电性差的样品应该是用较低的电压，对镀金的样品可以考虑用较大的加速电压，最好是先根据样品的特性选择大致的加速电压，再在小范围变换，找到最佳的加速电压。

加速电压跟景深没有直接联系吧，景深主要跟WD、Spot Size有关。

感谢版主的指教。
1）根据已选定电压的照片，怎样尝试改变加速电压，来优化照片质量？
2）另一个问题是Hitach场发射电镜中没有，Spot Size项，是不是就是focus depth项？

场发射电镜是没有束斑概念的，调节更无从谈起。
电压越高，色差越少，分辨率越高， WD 越小，球差越少，分辨率越高。

赞贴

拍砖

longzyyz

禁止发帖修改昵称

ID：longzyyz

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2006/1/5 1:29:00 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wuzl 发表:
原文由 SeanWen 发表:

引用：
--------------------------------------------------------------------------------
原文由 wuzl 发表:
对电镜刚入门，没有经验。请问各位应如何选择SEM的加速电压？和景深有关吗？
--------------------------------------------------------------------------------

选择加速电压要根据样品的性质来考虑，对于不导电的样品或导电性差的样品应该是用较低的电压，对镀金的样品可以考虑用较大的加速电压，最好是先根据样品的特性选择大致的加速电压，再在小范围变换，找到最佳的加速电压。

加速电压跟景深没有直接联系吧，景深主要跟WD、Spot Size有关。

感谢版主的指教。
1）根据已选定电压的照片，怎样尝试改变加速电压，来优化照片质量？
2）另一个问题是Hitach场发射电镜中没有，Spot Size项，是不是就是focus depth项？