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主题：【原创】如何摆脱电镜污染物? ( 电镜用户必看之维护篇 )

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lich_dc
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2011/5/17 19:40:00 44楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 毒菇九剑(sshlxf) 发表:
从SEM图片看效果还是很明显的。
但EBSD的Mapping看，a和c好像不是同一个区域啊。是不是漂移了？
另外清洁时需不需要将EDS探头退出来？


没错，因为样品在样品室内经过了几分钟的等离子清洁还有就是EBSD的窗口，所以回来再定位时发生一点漂移。

清洁工作时EDS,EBSD探头不需要退，因为这个工作没有任何限制，而且对于EDS,EBSD等分析窗口也有清洁作用。

很多客户肯定遇到过EDS能谱分析时结果不准确，比如碳峰特别高， 这都是因为EDS窗口积累的污染物导致的分析结果不准确，所以使用EVACTRON PLSAMA CLEANER对于这些分析而言结果也更准确。
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hitachi-demo
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2011/5/21 18:17:29 45楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
等离子清洗是很成熟的技术了。但是用在电镜里实时清洗样品，实用性如何还有待观察吧。电镜里的污染可不是清洗一下就没了的，电子束在样品一扫描，立马又出来。清洗光阑啥的还比较靠谱。
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jsyzhx
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2011/5/21 19:48:24 46楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问价格多少？
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lich_dc
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2011/5/22 22:26:20 47楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hitachi-demo(hitachi-demo) 发表:
等离子清洗是很成熟的技术了。但是用在电镜里实时清洗样品，实用性如何还有待观察吧。电镜里的污染可不是清洗一下就没了的，电子束在样品一扫描，立马又出来。清洗光阑啥的还比较靠谱。


已经有1000多台安装,其中日立的冷场4300到4500到4700,4800都安装很多,

你的观点理解,  因为电镜里的污染很难去掉是很正常, 而且一般现有的烘烤技术效果很不明显
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lich_dc
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2011/5/22 22:32:04 48楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
现在ZEISS, FEI也都设计了臭氧来做类似工作,不过显现效果和操作都还是差非常多,毕竟XEI EVACTRON技术还是处于专利期间.

电镜成像分辨率, 样品的干净度,真空度变差以及很多客户经常看到的能谱分析碳高峰等, 这些都是针对解决的问题.
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2011/5/24 11:14:38 49楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好东西，上次见FEI的工程师拍分辨率时自己带了一个，拍完后拆下来带走
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2011/5/24 17:15:56 50楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ZEISS的工程师手中也有一个,遇到拍不好的样品就拿出来用,反正接口一样,拍完就拿走.
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asahi42
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2011/5/24 19:38:11 51楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看得我也想要一个~~
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2011/5/25 17:41:20 52楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 asahi42(asahi42) 发表:
看得我也想要一个~~


已经有人吃螃蟹了,    SAE, 南京大学, 蔡司上海实验室, FEI上海实验室
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2011/5/25 17:42:18 53楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jsyzhx(jsyzhx) 发表:
请问价格多少？


不贵的
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