主题:【求助】薄膜被氧化了怎么表征啊?求解

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allenren
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各位大侠!
        本人需要测试玻璃基板上CuInGa合金表面的氧化情况,(具体需要知道氧化层的厚度,分布和成分),用什么测试方法。高手指教
谢谢!
CuInGa的合金薄膜制备方法是磁控溅射,厚度大概几个微米。

XRD小角可以看表面的氧化层吗?XPS能分析出氧化物吗?因为氧化膜很薄(估计几个纳米),所以不清楚这些仪器的能力是否可以达到。
该帖子作者被版主 金水楼台先得月2积分, 2经验,加分理由:好帖
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allenren
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尝试了,不可以。没信号

原文由 hsteel(hsteel) 发表:
可以尝试用小角度的X射线衍射
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allenren
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不是的,因为要在合金表面再沉积别的元素,所以需要知道沉积前氧化的怎么样?比如深度多少,氧化物成分。我想XPS应该可以做氧化物的成分分析,但是深度的精确信息就不知道怎样准确得知了。depth profile 应该不可以吧?TEM的cross-section 可以看到表面氧化层的明显边界吗?如果可以,我想这样最好了。

原文由 金水楼台先得月(albert800922) 发表:
是不是通过测定氧化物含量评价合金的好坏?
hsteel
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allenren
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没用过这个。那还不如SIMS的精度高吧?
辉光放电的detect limit和depth resolution分别是多少?需要calibrate深度吗

原文由 hsteel(hsteel) 发表:
辉光光谱可以测随深度变化的元素含量,可以尝试
金水楼台先得月
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