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主题:【转帖】高阻及其测试(详解版)

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祥子
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高阻及其测试

来自:38度发烧

序,什么是高阻?
高阻,就是阻值很高的电阻。
电阻的单位是欧姆(Ω),欧姆级别的、千欧(kΩ,3次方)级别的很常见,也比较好测试,而兆欧(MΩ,6次方)级别的,就可以认为是比较高的电阻了,1MΩ的电阻用模拟表测试也就能偏转一点点,常见数字表的电阻测试上限大约是20MΩ。厂家生产的各种电阻,大部分阻值也都在1Ω到10M之内。阻值再高的,用处就不是很大了,也难于测试了。
到底阻值大道什么程度算高阻,也是个模糊概念。粗略的说,可以认为兆欧以上的算高阻,也有把更高的例如>1GΩ(9次方)的才算成高阻。有些高档的台式万用表,的确最高可以测试1GΩ的。

至于常见的绝缘材料,电阻就非常高了。达到1TΩ(10的12次方)很常见,超过1PΩ的(10的15次方)也很多,甚至有达到10的18次方欧姆的。

下图选自Keithley—低电平测量手册中文版第74页:



当然,我对这里面的结果一直有很多疑问,例如,我测试过FR-4的环氧板,两个相临的平行线之间的电阻轻易的超出50T,这样换算成电阻率就达到10的14次方了,但图中只有9到13次方之间。
再比如,聚乙烯和特富龙的体电阻率有那么大的差别吗?达到7个数量级,那种只有11次方的不会是测量误差或者表面污染?
另外,这个表格也与前面的文字很矛盾,文字中说特富龙、蓝宝石的体电阻率大于10的18次方,而表里是小于18次方的。


上面中文的不是很清楚,看看原文,清楚的标出三种材料的体电阻率大于10的18次方。
 

测试高阻的意义

高阻其实广泛存在的,各种半导电的物体、各种常见的绝缘体,其阻值都非常高,从10的8次方一直扩展到10的18次方。为了能够测试各种材料的导电特性、绝缘特性,就必须涉足高阻领域。

另外,高阻标准电阻,相关的测试方法,也是被涉足很少的领域。

高阻的特性

1、非线性/电压系数。理想电阻本来遵从欧姆定律的,即通过电阻的电流与加在其上的电压成正比。而实际上,对于非金属材料,这个线性往往不成立,例如电压高的情况下电阻就降低。非线性一般用每伏变化多少来表示,例如1ppm/V就意味着,改变1V的电压就能使电阻改变1ppm,100V就是100ppm了。 

2、温度系数大。事实上,即便是纯金属,温度系数也是很大的,例如铜,大约是+4200ppm/C。只有某些精心制作的电阻合金,才有比较低的温度系数。因此,高阻材料温度系数大也就不足为怪了。

3、随时间阻值变化大,即长时间稳定性不好。

4、容易受外界影响,例如湿度、气压,主要是吸水程度的不同,差别巨大。

5、电容效应。电容广泛存在,几个pF很正常。有电容就存在充放电,有电阻存在时时间常数用R×C表示。对于小阻值电阻而言这个时间常数一般可以忽略。但到了高阻领域,例如1T,即便有1pF的电容,时间常数也达到1秒。如果电阻100T、电容10pF,那么时间常数高达1000秒,表现在测试电阻的时候,电流开始大、后来逐渐减少。如果不采取措施,将造成测试时间过长。另外,高阻电阻可以认为是多个串联的,各节点都有分布电容,这样就会造成分布时间常数,即便两端的电荷放掉但中间的电荷还存在,给测试造成困难。

6、表面泄露。很多情况下绝缘材料的体电阻率很高,但测试下来就是绝缘电阻不够,此时就要考虑是否为材料表面导电。材料表面很容易因为吸附灰尘、有油膜或其他脏东西而造成比内部材料强得多的导电途径,因此保持绝缘材料的干净或者经常性的清理十分必要。

高阻电阻(芯)

从材料上看,到达100M及以内的,高阻可以用线绕制作。金属材料是很理想的欧姆定律服从者,而且电阻丝的温度系数和老化程度都很小,是比较理想的电阻材料。但是,高阻的情况下,线太细、线太长,绕制很麻烦,万一断掉就前功尽弃。所以,大部分场合下,线绕电阻不超过10M。阻值不够的部分可以用两个或多个串联。

金封线绕,几兆的还是可见,体积稍大



这个HP的10M金封线绕,很少见了(lly的,来自他的3455)


国产的线绕,10M很大了,少见



最厉害的金封线绕是这个从5450A里面拆出来的,81M


矿坛彭金生解剖并拍照的4.5M线绕电阻,丝线极细


Aeon解剖的9M线绕,只有一层,丝线细如牛毛





国内常见的电阻是这种“真空电阻”,但实际测试下来电阻变小的太多





而且电压系数太大,超过1000V的电压打火现象严重



上面这种磁管的,貌似较低电阻的还不错






这个貌似是烧结的,体积很小的1G


这个么,国产平板印刷的




仪器上拆下来的国外高阻,日本FineChem的





外皮橡胶皮的

一个微电流测试板上的高阻,Dale的,30G



Keithley 610C静电计上的4个高阻,100M、1G、10G、100G


Keithley 617静电计上的100G、2%,另外一有一个250G、5%的


世界最强悍静电计K642的测量头,里面用了10的10次、11次、12次方 这样的阻值


天津生产一种玻璃釉的高阻电阻,没见过样品,据说老化不错。

从国外的产品目录可以看到,到达10G的高阻,TT(原Welwyn)的WHVL系列做的最好,可以达到10ppm的温度系数,偏差也可以做到0.1%。100G的也可以做到25ppm、0.25%。   
加当(Caddock)的USG尽管也能做到0.1%但阻值只到100M,能到100G的MG815,体积也太大了点(长度152mm)。
美国Ohmite公司的几个MOX系列也不错,其中MOX750-23的功率1W、耐压5kV,10G有0.5%、100ppm/C的,100G有1%、250ppm/C的。而MOX1125-23更好一些,相同指标下阻值可以大10倍。
前面列出的FineChem的RH2HVS/RH3HVS,100G的可以有1%、250ppm/C,也算不错了。
为了便于选择,把能找到的厂家的比较好的高阻,列出表格:
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祥子
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商品高阻标准电阻

1、国产的BZ16
有1M、10M、100M,是线绕电阻,体积比较大,特性不错,等级分别是0.01、0.02、0.05。




2、国产的BZ17
铁盒,内有防潮剂,但主要采用的是玻璃真空电组,性能很一般,1G的才1%。








3、日本的 


这个貌似自己DIY的 


4、mte_rp 


5、美国的,从测试数据看,这个阻值并不高的标准电阻,电压系数还很大 





6、Ohm-Labs,很有历史,L&N和JRL都被他收购,其高阻指标很高,10G的50ppm温度系数、50ppm年老化,而1T的分别是200ppm/C和200ppm/a。 


恒温多值电阻,提高了温度稳定性,年稳指标一样


7、高联的9936和9937,10G的25ppm温度系数、100ppm年老化,而1T的分别是300ppm/C和500ppm/a。


以下的超高阻,有10T、100T、1P(1000T)


4、MI的9331G,10G的500ppm年老化,但1T的甚至10T的居然也是500ppm/a的老化。

DIY高阻电阻

这个话题比较沉重,因为很难。主要是电阻芯做不了,只能是买现成的。国内很少能生产高稳定的高阻,因此只好靠国外品牌的。但高阻这个特殊的领域,研发费用肯定不少,但需求量很少,因此价格很高,尤其是高精度的高阻芯。

曾经用100个10M的电阻串联做过一个1G的,还没完全做完:http://bbs.38hot.net/read.php?tid=305

如果1M可以算高阻的话,以前用Fluke752A拆的120k串联做过一个高精度的1M:







其它可以DIY的阻值、可选电阻芯
1M,可以用10个99.925k(或类似)的金封线绕,奢侈一些用10个202Z
10M,可以用Fluke 4.9225M金封线绕,MC 5M金封线绕,3.3M×3金封线绕,或者HP 10M金封线绕
100M,可以用Fluke 81M金封线绕,配上上面的10M(即装在一个盒子里),再加上2个Fluke 4.5M
1G,可以用100个RN55D金属膜串联(我的DIY),或与100M Hamon兼用 )
10G,可以用10个1G串联,每个1G的用100只10M串联(与1G Hamon兼用)。我买了1200这10M电阻,打算这么做。
100G,这个貌似没啥好办法了,只有买10个10G的好电阻,串联起来,既做100G又做10G
1T,类似上述


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2011/3/26 8:51:53 Last edit by nemoium
祥子
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高阻的测试和传递方法

高阻最常见的测试方法,就是采用各种商品的高阻测试仪/静电仪。 
测试高阻一般有两个办法,一个是直接测试,利用高阻档,接上被测电阻,类似普通万用表那样,直接读数,很方便。 
另一种方法是V/I法,即只用表的弱电流档,从自带电压源或外接电压源取得测试电压加到被测电阻上,把被测电阻的另一端输入给电流表。例如用Keithley 617,也可以直接读出高阻数值来,原理图如下:


可以看到,这个测试需要有一个屏蔽盒,型号6104,这是测试高阻所必需的。由于高阻时非常容易受干扰,同时裸露的话也会引起漏电,因此需要把敏感部位全部屏蔽起来。



617自身的电压源 被引入屏蔽盒,加到Rx上,然后通过屏蔽电缆送到617的输入端,此时617是用电流当,输入阻抗非常低,相当于短路。

有些商品高阻表/静电表,不自带高压电压源,例如K610C,只能内部测试到10的14方欧姆,此时要外加电压源才能测试15次和16次高阻,假设外接电压源为100V,利用电流档,反而不确定度降低。另外,有的强功能高阻表例如6517,把V/I特性集成到一起了,最高量程也是达到了10的14次,更高的电阻看不到如何测试的,也没有指标,是按照常规的方法推算到16次方。还有一些静电表例如K642,根本就没有电阻测试功能,但可以通过外加电压源的I/V办法来测试。
常见的几款高阻仪器的指标图示如下:



可以看到,模拟的高阻仪或者低Ib的静电表用I/V法测试,在很高的电阻下都有较低的不确定度;
个别高阻仪例如镇江的TY9801,随着电阻的增大误差而增大迅速,而且即便有5000V的电压也才最高测试到1T,这是检流不理想的象征。 

附上几个常见的高阻仪/静电表的照片

HP4329A


Keithley 610C


Keithley 642


Keithley 617


Keithley 6517

Guildline 6520


镇江TY9801


不幸的是,这些测试仪的精度都很有限,最好的高联的6520,在较低阻值下也没有达到0.01%之内,在1T以上就超过1000ppm了,15次方下达到1%。这些指标,对于对比、考察高阻基准,还是不够的,因此,需要更好的测试对比手段。

惠斯登电桥及高阻扩展桥


我们知道,现在测试电阻能达到0.1ppm不确定度的有两个技术,一个是适合低阻(<13k)的DCC,另一个是适合中高阻的BVD(1k-10M),而对于超过100M电阻的ppm级别的对比,这两个东西也无能为力。

另一方面,古老的惠斯登电桥(Wheatstone Bridge)是最基本、最精密的电阻对比手段之一,其各种扩展的方式目前仍然广泛被使用,那么如何改进成为高阻测量桥呢? 

4臂电桥如果扩展到高阻,有如下几个困难: 
1、由于电阻的增大,电流非常小,漏阻将严重影响结果。
2、高阻往往要提高桥电压,此时对于可变电阻就很麻烦,难于解决耐压、功率发热和非高阻的权衡。
3、需要非常高灵敏度的同时也是超高共模抑制比的检零电路。

NIST(美国国家标准技术研究院)在其TN1458里发表了一个双电源有源等电位屏蔽高阻桥,解决了这些问题。


图中,用两个可编程标准源替代了两个电阻臂,即用电压比替代了电阻比,这样,电压可以很高(最高每臂1000V),而且可以方便的控制。同时,这种接法把电桥的探测臂的一端接到了地上,这样就可以让检零计不受限制,不用浮地,没有共模抑制要求,也减少了干扰和屏蔽的烦恼,因此可以采取商品的静电计 ,灵敏度大大提高。最后,整个桥臂做成等电位屏蔽,两个电阻的4个落脚点的周围,电位差初步估计都是<1mV的,而且检零计D是整体(外壳、测试地、测试点)被地电位包围,这样使得可能漏电的途径的电压差非常小,实际杜绝了漏电。各种绝缘部分做到12次很容易,有1mV的压差,漏电就是1fA以下,这比最好的检零计的偏流还小,因此其影响就可以忽略了。

电路中的D采用偏流±3fA的静电计,采用替代方法,可以再次抵消大部分不平衡因素。另外,可以采用电流换向技术来消除热电动势的影响。

看来这电桥一些都理想了? 
实际上不是的,尤其是对于业余DIY,仍然存在下述三个问题:
1、笨重而价格高。就那两个可编程标准电压源,一般是Fluke 5700/5720级别的,就非常难。

2、更重要的是,这种双电源的方式违反了电桥原理,使得原本可以忽略的电桥电压变化,变成不可忽略了。我们都知道,电桥是对称、平衡原理,电源电压的少许波动,对结果的影响是-2次方的、可以忽略的,但用电压替代两个臂,电压独立,对结果的影响就是一次的、不再可以忽略的了。简单说,惠斯登电桥对电源电压的波动不敏感,但双电源电桥就不然了。举个例子,惠斯登电桥对于100ppm的电源电压变化,影响是平方的,就是0.01%*0.01%,为0.01ppm,因此可以忽略。但是,独立的两个电压源,其电压的微小变化,会完全、直接反映在两臂,影响是1次的。如果真的电源电压变动了100ppm,那么结果也是变动100ppm。

3、检零计的工作状态也有问题,用的是悬浮、高阻探测模式,而不是短路模式。高阻模式是任凭电压的变化,不做干涉,这样不仅使得探测灵敏度降低,更造成探测点的零点偏移,大了的话将与保护层形成可观的压差,让保护失去应有的作用。

这样看,这电路本身并不完美,至少对于DIY来讲不适应的。下面的电路,就是针对以上三点的改进桥。

补充:MI公司按照这个原理生产一款高阻对比桥,叫TeraΩBridge,照片及指标见下。 




DIY高阻桥的设计


先给出电路,然后说明:


1、首先可以看到,外观上的确是一个4臂桥了,把两个电压源重新替换成电阻,轻便而廉价。
2、检零器的负输入和外壳,仍然接到地,也就是两个比例臂的中点保持接地,这样对检零计检零计的弱要求和高屏蔽的优势仍然保留。
3、供电仍然采用双电源,其中+V经过三端稳压,但另一个-V并非是独立的,而是用一个运放把+V反射到-V,即-V完全跟踪+V的微小变化,克服了双电源独立变化对测试结果的直接影响。 
4、为了能够部分模拟原来可调电压源的功能,增加了微调R'。这个R'也可以做成带读盘(有刻度读数)的。
5、增加了内部切换开关,使得Rx和Rs的转换方便而快捷,避免了拖长时间的替代造成参数变化,同时也减少了认为干预(端子的变动、引线和分布参数的改变等)。 

这桥的面板暂时设计如下:
(改进:接线放在上面、左边,操作和显示靠右、下)

其中,Rs的两个同轴插座接标准电阻,Rx接待对比电阻,Rd为哑电阻,这三个电阻要其是同阻值、最好是同规格。Rs和Rx上面的是这两个电阻的切换开关。
电桥的电源可以选10V或20V,中心位置是切断电源,以便节省电池,这转换用左下的三位开关完成。
为了与老系统兼容,还设置了外接电源,这样就可以在必要的时候切断内部电池而改成与NIST桥完全一样的电路,右边就是4个外接电压柱。 

该桥设计制作的时候,应保证如下几点:
1、电池总电流,不超过1mA,这样可以免除发热、提高电池使用时间   
2、任何绝缘部分,均有10^12以上的绝缘电阻 
3、任何等电位屏蔽,与被屏蔽点的压差,不超过1mV
4、所有部件的外壳接地。

事实上,以上这些原则和要求,很容易达到。只要满足了这些要求,那么这高阻桥就可以比较理想的工作了,只剩下一个检零计需要计算和选择。

一些朋友在此桥设计初期对于开关K1、K2的漏阻影响问题提出疑问。在这里解释一下。 
K1和K2是联动的,选好一点的2×2开关并适当安装,只要满足不难达到的10^12漏阻即可。开关的四个外端交叉的接成A点和B点,漏电可以总结为:

A点对地的漏电,符合12次、1mV原则,没有问题 
B点对地的漏电,符合12次、1mV原则,没有问题
A、B之间的漏电,符合12次、1mV原则,没有问题

开关的这种设计,无论开关在什么位置,都可以让Rx和Rs同时处于加电状态,这样一方面很公平,另一方面也大大降低了测试前的延时时间。我们知道,高阻的电容效应很严重,加电后的电容充放电要很长才能进行测试(例如1T的电阻有10pF的分布电容,时间常数就是10秒,至少要1分钟的预习时间),而这种预加电措施会让两个电阻随时处于待测状态,随时转换,可以更快的进行多组相间测试,大大降低对比的不确定度。对比固态电压基准,都是一天24小时开机加电,为什么高阻不能永久性的加电呢?

当然,严格意义上,这电桥也存在局限:
1、Rs和Rx不是严格意义上的替代 
2、只适合测试10进幂次的组织,不适合测试任意阻值

灵敏度和指零仪D的选择 
(有待完成) 

首先,计算一下该桥的灵敏度。
所谓灵敏度,就是桥臂的电阻变化一个微小值,能引起检流计的多大的输出。
看电桥的图,不失一般性,假设Rx比Rd减少了x,即Rx=Rd-x,分两步计算,先求得由此总的电动势E。  Vvrsf 6l] 
E = 2V(Rd)/(Rd+Rd-x) - V
E/V = (2Rd)/(2Rd-x) -1
= 1/(1-x/(2Rd)) - 1
= 1 + x/(2Rd) - 1
= 1/2*x/Rd
也就是说,某臂电阻的相对变化,会引起电动势一半的相对变化 

把后续的问题归纳成如下电路: 


然后把D分成两种模式,分别考察。第一种模式,电压测量模式。设静电表输入阻抗为Rin,最小分辨+噪音为No,电桥电压V,则电桥灵敏度L可以计算为:
No=E*Rin/(Rin + Rd/2) 
即E=No*(Rin+Rd/2)/Rin
由于x/Rd=2E/V,带入得到
x/Rd=2No/V *(Rin+Rd/2)/Rin 
这就是电压灵敏度公式。当Rd远小于静电计的输入阻抗时,有: 
x/Rd=2No/V 
这就是简化了的电压法灵敏度公式。 
以D用K617为例,
电压模式,最低200.00mV档,分辨d=10uV,噪音40uV,这样算No=50uV为好,输入阻抗Rin=200T
此时在比较小的阻值下,在供电V=100V的场合, 
得到分辨L=x/Rd=2No/V=2*50uV/100V=1ppm
显然,在100V的电压下才能取得1ppm的分辨/灵敏度,不算高。

电流型,同上图,Rin=o,当Rx变化x后,最小分辨电流
Io=2E/Rd即E=Io Rd/2 
所以有
L=x/Rd=2E/V  7 
=Io Rd/V
这就是短路型灵敏度公式
对于K617,最小2pA档,分辨+噪音为Io=6.7fA,对于10G的被测电阻、100V电压,有:
L=6.7fA *10G / 100 =0.67ppm
也就是说,与电压法相当。

同时可以看出,这两个灵敏度公式都包括电桥电压,电压越高则灵敏度越好。可以看到,短路法的灵敏度取决于被测电阻的大小,电阻越小则灵敏度越高,并随阻值的增高而变得很差,因此有一个灵敏度相等的转折点。对于不同的静电计,灵敏度也不一样,转折点也不一样。对于K617,当被测电阻<=10G的时候比电流法灵敏度高,>10G则电压法灵敏度高。

根据上述公式,给出几个典型的静电计在不同场合下的分辨/灵敏度如下成图:

结论:对与常见的K617/6517,在电阻不很大时应该选电流模式这样灵敏度很高。但对于>100G的场合,应该选择电压模式了。不过,如果要求不高,或者电压较高,直接全程用电压法,也足够了。

高阻传递与高阻Hamon

Hamon(哈蒙)电阻是一个永久串联的10个等值电阻,可以相间的并联起来,阻值就成为1/100,而且偏差不变,这样就可以方便的实现1:100的精密、快速传递。有关哈蒙电阻的详细讨论,见此贴:http://bbs.38hot.net/read.php?tid=4776

向高阻的传递方法,具体说,是先用100k Hamon并联接成10k,与10k标准对比,然后串联成1M,就可以充做1M标准了。
再用10M的Hamon,并联成1M,与刚才那个1M对比,然后再串联成100M,就可以充做100M标准了。
再用1G的Hamon,并联成100M,与刚才那个100M对比,然后再串联成10G,就可以充做10G标准了。
依次类推,可以看到,我们至少需要以下Hamon:100k、10M、1G、100G、10T。到达10T后,串联就是100T,这已经是现实中能取得并测试的最高电阻了。如果DIY,一般可以忽略这一量级,而到达1T算结束点。 
至于中间某些阻值,例如100k、10M、1G、100G,也可以通过过渡而得到。
但是,这些Hamon,很多都是高阻的,而高阻在串并联时难免受到漏阻的影响。例如1G的哈蒙,串联起来达到10G,这样10T的漏阻就有1000ppm的影响了,造成很大的传递偏差。
解决的办法,就是用等电位屏蔽Hamon:



Ohm-Labs的实物照片:

可以看到,Hamon电阻的11个外接点都是同轴结构,内芯是真正的有效接点,外皮是等电位屏蔽,作用是在任何时候,外皮和内芯之间的电位差非常小,这样加上好的绝缘材料,漏电就可以忽略了。而为了达到这种等电位屏蔽的目的,要在外皮上串联接上等值的10个分压电阻。只要在测试的时候同时给保护屏蔽供电,就可以实现排除漏阻影响的目的。

r1到r10的选择,一方面不能太小,以免发热而有影响,以单个电阻最高可能加到100V计算,应取1M才好。另一方面,阻值也不能选取过大,以免其它漏阻对分压系数有影响。12次方漏阻对于10M(7次方)的影响是10ppm,这就是极限了,另外超过10M的电阻稳定性不好、温度系数高,所以,不能超过10M。实际选择时,该保护分压电阻可以不随主电阻而变,也可以在主电阻比较小的时候(例如100k的Hamon)选择的小一些。另外,这些电阻不一定取整数,只要一致性好就可以。事实上,这些电阻最好是跟踪主电阻的变化(温度、老化),这样才能随时起到屏蔽作用。但实际上不会完全一致,因此有必要串联一个可调电阻(例如10M串联100k),不定期的去校正。

Hamon的主电阻,落脚点只能是同轴插座的中心点,不能有别的中间点,否则就没有进行屏蔽了。因此,主电阻若有串联,必须是悬空的,类似带有如下的F4柱的情况,是不允许的: 




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2011/3/26 9:06:59 Last edit by nemoium
gengxin60
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不错的产品知识介绍,谢谢楼主的无私的奉献!我收藏了。
tutm
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真是花了大工夫了,开眼界了,还不曾关心过的领域
tutm
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这个电阻据称也是高阻值的,但不知阻值是多少,有6个色环,那位识得?

祥子
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原文由 tutm(tutm) 发表:
这个电阻据称也是高阻值的,但不知阻值是多少,有6个色环,那位识得?



是100M吧. 最后的黑色一环是温度系数。其他与五环电阻读法相同。

棕是1,两个黑色环是0,蓝色是10的6次方,黄色环是误差5%。
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2011/3/28 22:34:31 Last edit by nemoium
tutm
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原文由 祥子(nemoium) 发表:
原文由 tutm(tutm) 发表:
这个电阻据称也是高阻值的,但不知阻值是多少,有6个色环,那位识得?



是100M吧. 最后的黑色一环是温度系数。其他与五环电阻读法相同。

棕是1,两个黑色环是0,蓝色是10的6次方,黄色环是误差5%。

哦,第六环是温度系数
大陆
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收集不同类型的废旧元器件并将其归类是件很有意思的事,祥子的工作室里应有回收归类的器件抽屉吧?

追求过高的电阻(>1G欧),除非在绝对没有波动的直流应用中,实际上是没多大意义的,因为高电阻一般伴随着大的电抗,在非稳恒电路中对电流的阻力远没有声称的那么高。
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