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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：放电严重怎么办？---关于制备表面坑坑凹凹的样品

浏览0 回复14 电梯直达

tongtianke

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发表于：2006/01/13 00:11:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

在使用能谱分析成分时，经常接到一些表面坑坑凹凹的样品，这种样品在蒸金后做SEM时，往往放电严重，使得图象不够好，甚至不清楚，请问大家有没有什么好办法解决这个问题。

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2006/1/13 8:50:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tongtianke 发表:
在使用能谱分析成分时，经常接到一些表面坑坑凹凹的样品，这种样品在蒸金后做SEM时，往往放电严重，使得图象不够好，甚至不清楚，请问大家有没有什么好办法解决这个问题。

这种情况应该是镀金没有连续造成的，看能否将样品磨平。

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tongtianke

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2006/1/13 17:19:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 SeanWen 发表:
这种情况应该是镀金没有连续造成的，看能否将样品磨平。

那样品是不能破坏的,也不能磨平,我们也没有离子溅射仪,可能用离子溅射仪会好一点,我们用蒸镀仪,但不知道有没有不破坏样品的其他办法,

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sunnysky

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2006/1/19 11:36:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

可将样品台多倾斜几个方向，多蒸几次会好一点

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期待冬眠的熊

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ID：dogxiong

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2006/1/19 11:53:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

要不多蒸镀两次吧？不过这样的话可能显示效果要差些。

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2006/1/19 16:17:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sunnysky 发表:
可将样品台多倾斜几个方向，多蒸几次会好一点

哦,谢谢!请问如果倾斜的话,是样品高的那一端电荷积聚较多,还是低的一端电荷积聚较多.

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darkeye

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2006/1/19 19:22:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tongtianke 发表:
在使用能谱分析成分时，经常接到一些表面坑坑凹凹的样品，这种样品在蒸金后做SEM时，往往放电严重，使得图象不够好，甚至不清楚，请问大家有没有什么好办法解决这个问题。

要说蒸镀效果要好于溅射,应该是凹地方充电吧.多蒸些时间效果可以改善.
制样也是学问呀,总结多了也可以发表论文的

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tongtianke

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2006/1/20 20:26:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 darkeye 发表:
要说蒸镀效果要好于溅射,应该是凹地方充电吧.多蒸些时间效果可以改善.
制样也是学问呀,总结多了也可以发表论文的

呵呵，我们单位是禁止发表任何论文的，尤其是我们产品相关的论文更是禁止，领导明言禁止，谁敢往枪口上撞？

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奔跑的蜗牛

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2006/1/23 13:29:00 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

喷金仪不好使而已.换一台进口的就好了,最好是BAL-TECH的或是GATAN的,不过贵了一点.

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2006/1/24 19:21:00 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tongtianke 发表:
在使用能谱分析成分时，经常接到一些表面坑坑凹凹的样品，这种样品在蒸金后做SEM时，往往放电严重，使得图象不够好，甚至不清楚，请问大家有没有什么好办法解决这个问题。

这是经典话题，能谱定性定量在高形貌样本上是不可能准确的，即使镀金也无济于事，因为不是只由于放电的原因，最主要的是X射线的遮挡反射，背散射电子的多次散射等等。
所以要精确能谱结果，只能将样本磨平，如果样本不能损坏的话，最好不要依赖定量结果。
还有，样本镀金后看能谱，我想只能看到金，呵呵

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saintchen

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2006/1/25 9:33:00 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 renxin 发表:
原文由 tongtianke 发表:
在使用能谱分析成分时，经常接到一些表面坑坑凹凹的样品，这种样品在蒸金后做SEM时，往往放电严重，使得图象不够好，甚至不清楚，请问大家有没有什么好办法解决这个问题。

这是经典话题，能谱定性定量在高形貌样本上是不可能准确的，即使镀金也无济于事，因为不是只由于放电的原因，最主要的是X射线的遮挡反射，背散射电子的多次散射等等。
所以要精确能谱结果，只能将样本磨平，如果样本不能损坏的话，最好不要依赖定量结果。
还有，样本镀金后看能谱，我想只能看到金，呵呵

赞！不过，最后一句不敢苟同。那也要看镀金的层厚了。镀金肯定会影响能谱分析的。影响到什么程度（比如会影响哪些元素、会不会背底有影响等等），我就不知道了，高手们指点指点？拜托了

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