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原文由 驰奔(srd2009) 发表:
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电子束从灯丝出来的时候是发散的.
经电磁透镜会聚后的第一个会聚点叫crossover.
任何扫描电镜都有.
只是zeiss的SmartSEM软件可以看到有这个灯丝像, 在换了新灯丝后调灯丝对中很方便.
我不知道这个像是怎么形成的. 所以请教各位专家.
这个和透射电镜类似,扫描电镜二次电子探测器或者背散射探测器根本无法观察束斑像,我估计是专用一个类似CCD照相的小探测器,直接接收电子束信号。而且在灯丝加饱和时,会看到灯丝像从空心,到实心的过程。
对, 可以看到灯丝像从空心到实心的过程. 但是电镜腔内没发现这个"类似CCD照相的小探测器"....
但是当照到faraday cup上无法形成束斑像 应该这么解释呢?
束斑像是像素化的一个比较大的清晰图像,想想如何把一个电子束的截面像素化?只能是用目前TEM的数字成像技术,但扫描电镜束斑截面可以是亚毫米级,也可以是微米级别,甚至亚微米级别,所以我觉得镜筒中两个固定光阑下面某个部位,有个隐蔽的小机关,当软件切换到SOPT image,这个探测器弹出来,正好截住了电子束,并且成像。
法拉第筒,用于测电子束电流的,固定电子束来轰击样品,只能形成图像的一个像素,无论这个电子束直径多大,用扫描电镜图像探测器成像,只是一个像素而已,很大的图像,也只能是一个很大的马赛克。
老外技术都是掖着藏着的,可能连他们的安装工程师都不知道!