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原文由 risohuang(risohuang) 发表:
谢谢楼上的大牛！这样更清楚了循环水要接UPS（我们是FEG的）。
但是不是很明白为什么要配的话主机和循环水必须分开？如果这样的话我们辅助设备间空间不够，再多的地方腾不出来了，唉
我们断电情况算比较频繁的，根据目前UPS的能力，即使有了准备，要完成整个关机过程也比较匆忙。更何况一年也有几次是突然断电的，有晚上的，有周末的，防不胜防。
根据大家的解释，我也觉得UPS的持续时间够用来做关机处理也就差不多了。
原文由 黑洞(mn) 发表:
1，首先目前国内还没有听说谁的电镜因为突然断电造成损坏的。不管是灯丝还是Lab6还是FEG的（日本电子，其它厂家不清楚）。
2，当然频繁突然断电对于设备来说肯定不是好事，我们知道正常停机当按下关机键后（现不考虑高压灯丝的因素）使真空程序彻底结束需要最少5分钟时间，这5分钟是用循环水将DP冷却下来，使里面的油不是处于沸腾状态以减少油蒸汽向上挥发。如果突然停电冷却效果将打折扣，这样就会有相对较多的油蒸汽越过冷阱而进入上级管道。当然突然断电后所有阀门都已关闭，能进入COL的也是微乎其微，而且管道也很长，但毕竟增加了污染镜筒的几率。
3，关于UPS一般不是FEG的我一般不建议买，这是从我的经验出发。想想有买UPS和维护它的钱，即使真因为断电出事了，足够你维修的费用了。别说老停电了，就是不停电，定期做做保养也好呀！
4，如果买UPS肯定要配两个，一个给主机，一个给循环水，而且要保证后者供电时间不低于前者，否则前面那个时间长没有意义。因为循环水一停，几分钟后就会因为DP过热保护停机，这比突然断电还糟。
5，UPS时间，根据你那里的停电情况。如果主要是短时停电，像换闸，配个15分钟的就可以了。如果是长时间停电，而且还经常发生在晚上，你不可能配个十几小时的吧？如果是白天，能给你留出正常停机的时间就够了。我觉得根据情况半小时到2小时是可选方案。
以上仅为个人观点，仅供参考。
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