Zeta-200是集三维成像和计量功能于一身的先进自动化表面测量系统。它功能配备齐全、使用方便,是自动三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta-200能够自动采集样品上多点的工艺参数,如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等,为您提供监控及优化生产流程所需的数据。
典型的系统配置包括:- 放大倍数为5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物镜
- 1/3英寸CCD相机; 0.5倍耦合镜
- 自动Z轴,30毫米驱动范围
- 自动XY载物台,200毫米x 200毫米驱动范围
- 具有3GB内存和320GB硬盘的电脑,24英寸显示器,以及泽塔三维功能软件