原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
对于使用扩散泵的系统,有个折衷的等待时间。等待太短,真空不够高,不利于延长仪器使用寿命。等待太久,可能出现扩散泵返油。分子泵不存在这个问题。不过我一直都不太清楚扩散泵返油是怎么个过程。
我之前问过工程师,他所返油不像咱们像的那样,油流进镜筒,而是只是很少的,因为扩散泵中的阀门的两端压力值的不同,少量的流到了流通到电镜的镜筒中,造成污染,不过现在的电镜一般不会,工程师说以前老电镜用久时常会出现这样的问题。。。至于扩散泵的真正原来当时也是听的很晕乎。。。。