主题:【第六届原创】(2) Agilent 7700x 灵敏度调谐指南

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timstoicpms
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原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
挖个坟,7700时代的点火程序其实应该是这样:
开冷却气、辅助气、载气——200W左右,匹配箱进行功率匹配——匹配无问题——关闭载气,升功率到900W(或者1200W?)左右——点火——加载气——加功率到1550W
7900应该是省掉了“200W左右,匹配箱进行功率匹配”,因为它取消了匹配箱,而是使用了变频——也就是频率在27MHz左右变动以适应基体的变化。


开冷却气、辅助气、载气——200W左右——匹配无问题——点火,功率升到1200W左右——开真空阀门——加载气——功率继续升到1550W
7700/7800/7900/8800/8900 射频+匹配箱系统都是一样的
恶魔妈妈买面膜
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