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主题：【求助】ICP的尾气成份组成是什么，你是如何处理尾气的。

浏览0 回复24 电梯直达
金水楼台先得月
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发表于：2011/09/22 21:23:30 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查实验室时,提出了三废设施,其中就提到了ICP的尾气,我的回答是,直接排放.
好象检查人员不满意,我也比较迷惑,想知道ICP的尾气成份组成是什么，你是如何处理尾气的。
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2011/9/22 22:17:09 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ICP的尾气主要就是载气Ar，其它在ICP火炬中电离的那些元素我想在尾气中间冷却下来了，会沉积的
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lilongfei14
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2011/9/23 8:25:54 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要是氩气，可以直接排放的呀
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小鬼当家
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2011/9/23 9:05:15 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ICP的尾气含有酸气，要经过活性炭吸附处理
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2011/9/23 18:01:22 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们也是直接排放的。
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birdfan
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2011/9/23 18:54:31 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小鬼当家(joyboy123) 发表:
ICP的尾气含有酸气，要经过活性炭吸附处理


应该没有酸气了吧？在等离子体中估计都离子化了。尾气的主要成分应该还是氩气，直接排放应该也是能达到环境标准的。
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小鬼当家
joyboy123
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2011/9/23 19:42:07 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
等离子效率没有百分之百，等离子体中还有酸性气体分子等等，
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金水楼台先得月
albert800922
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2011/9/23 20:07:16 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 无机麦地(shuiyang88) 发表:
ICP的尾气主要就是载气Ar，其它在ICP火炬中电离的那些元素我想在尾气中间冷却下来了，会沉积的

电离元素，一般是哪些元素呢。
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金水楼台先得月
albert800922
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2011/9/23 20:07:40 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 lilongfei14(lilongfei14) 发表:
主要是氩气，可以直接排放的呀

不需要处理？
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金水楼台先得月
albert800922
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2011/9/23 20:08:12 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小鬼当家(joyboy123) 发表:
ICP的尾气含有酸气，要经过活性炭吸附处理

酸气肯定有，如何接活性炭吸附处理？
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金水楼台先得月
albert800922
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2011/9/23 20:08:54 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小鬼当家(joyboy123) 发表:
等离子效率没有百分之百，等离子体中还有酸性气体分子等等，

我也觉的不可能百分之一百。
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