实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8042807今日发帖：7 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【讨论】电镜样品的积碳问题

浏览0 回复6 电梯直达
gedaya
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2011/11/28 14:10:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
关于电镜样品的积碳的原理或产生条件等，请教诸位高手！
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
奔跑的蜗牛
chenjianfeng
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2011/11/28 19:04:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要是因为高能电子的能量使样品表面吸附的碳发生自由基反应，形成分子量高的，难以挥发的化合物。如果样品室干净一些会有所改良，也可以通过等离子清洗搞定，用液氮冷阱也会好一些，有些低真空电镜在低真空操作的时候也会少些积碳污染，不过和样品表面有关的。
赞贴
1
收藏
0
拍砖
0
举报
gedaya
gedaya
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2011/11/29 17:14:30 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
受教，多谢了
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
fengyonghe
fengyonghe
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2011/11/29 21:53:09 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gedaya(gedaya) 发表:
关于电镜样品的积碳的原理或产生条件等，请教诸位高手！

书上抄一段吧：

碳污染：在电子束轰击下碳和含碳物质（由电子对样品表面污染物和/或真空系统的残余油气体轰击产生）在试样表面上的进行性积累。

污染主要由残余气体分解及试样表面污染物分解产生（主要是碳污染）。残余气体指仪器本身残余气体、油的蒸汽；试样交换时带入的气体；导电胶或导电带挥发物；试样表面污染污染主要指加工时有机物污染（松香，清洗剂等）、油污染，电子束照射嵌镶试样的环氧树脂产生分解产物等。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
lich_dc
lich_dc
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2011/12/1 21:36:07 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 gedaya(gedaya) 发表:
关于电镜样品的积碳的原理或产生条件等，请教诸位高手！

书上抄一段吧：

碳污染：在电子束轰击下碳和含碳物质（由电子对样品表面污染物和/或真空系统的残余油气体轰击产生）在试样表面上的进行性积累。

污染主要由残余气体分解及试样表面污染物分解产生（主要是碳污染）。残余气体指仪器本身残余气体、油的蒸汽；试样交换时带入的气体；导电胶或导电带挥发物；试样表面污染污染主要指加工时有机物污染（松香，清洗剂等）、油污染，电子束照射嵌镶试样的环氧树脂产生分解产物等。


说的非常全面， 而且这种污染现象越是低电压越是能看出这些污染物来， 一般来说像冷场加的冷井是用于吸附部分污染物，而不能去除碳污染。 而可以参考下置顶帖所讲的电镜上面加的Plasma Cleaner可以很彻底去除掉这种污染现象， 长久保持样品室干净的真空度和系统分辨率。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
gedaya
gedaya
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2011/12/10 11:07:49 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢诸位！有谁使用过等离子清洗设备吗，效果如何呀？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
Insm_6faac6a4
Insm_6faac6a4
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2022/8/8 22:06:27 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 lich_dc(lich_dc) 发表:

说的非常全面， 而且这种污染现象越是低电压越是能看出这些污染物来， 一般来说像冷场加的冷井是用于吸附部分污染物，而不能去除碳污染。 而可以参考下置顶帖所讲的电镜上面加的Plasma Cleaner可以很彻底去除掉这种污染现象， 长久保持样品室干净的真空度和系统分辨率。
为什么说 越是低电压越是能看出这些污染物来 呢
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 电镜样品的积碳问题
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁