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扫描电镜（SEM/EDS）

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仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

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主题：【求助】对一个不明物质鉴别

浏览0 回复11 电梯直达

zdp1010

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发表于：2013/06/08 17:18:56 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

悬赏金额：10积分状态：未解决

SEM/EDS分析准确度有多大，还有更好的方法吗

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2013/6/10 3:08:19 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

EDS定量是百分数级的

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小M

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2013/6/27 19:50:13 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

发了两个一样的帖子啊

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fengyonghe

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2013/12/8 18:10:31 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

能谱计数呈高斯分布，服从统计规律，在 ±σ，±2σ，±3σ出现的概率分别为68.3%，95.4%，99.7% 相对误差=1/√N 。σ可预先设置。

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许洛

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2013/12/27 9:32:15 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

EDS只能大致分析一下物质所含的元素而且也不一定准确要结合其他手段如XRD 热重等分析才能准确测定

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linzq

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2013/12/27 12:15:50 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zdp1010(zdp1010) 发表:
SEM/EDS分析准确度有多大，还有更好的方法吗

随着EDS的发展，现在这种方法可以说是最简单清晰明了的。准确度对主要相还是有一定保证的，至少从目前做的计量认证高校评审组组织的高校间的比对考核样来看都还是比较吻合。

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小不董

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2014/2/17 13:07:44 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

轻元素测试不了，百分比还是很准的，但EDS测试的就一个点，需要多测试几个点，才更具有统计意义。还就是EDS能测试的深度有限。

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jjchan48

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2014/1/2 9:32:36 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

Deep profile: Auger/ESCA;
Quantitive analysis: EPMA / SIMS.

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fengyonghe

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2014/1/2 22:00:59 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 许洛(v2843033) 发表:

EDS只能大致分析一下物质所含的元素而且也不一定准确要结合其他手段如XRD 热重等分析才能准确测定

比如对一个样品上的小质点而言，要想知道其元素组成和含量，只有用EDS。对一个宏观样品也没必要用EDS。

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小M

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2014/1/3 11:24:05 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

电子探针+波谱在定量方面可能更加准确

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canne_yswei

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2014/2/12 8:49:50 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我的感觉：EDS是对微区做定性分析的仪器，测试结果只是元素种类的分别，而且元素含量要大于0.5%，才能有比较明显的特征峰出现。但是EDS对微区的大小也有一定的要求，根据原子序数的大小，微区大小也会不同，一般原子序数大的样品，可以在更小区域做定性分析。这应该是电子束同物质相互作用的原理造成的，同X射线特征谱线的生成机理有关。微区太小很可能会引入基底材料的元素谱线。

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