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污染列表
离子(m/z) 化合物 可能来源
18,28,32,44 H2O,N2,O2,CO2 残留的空气、水、漏气、密封圈脱气
或14,16 或N,O
31,51,69,100,119,131, PFTBA和有关离子 PFTBA(调谐)
169,181,214,219,264,
376,414,426,464,502,
576,614
31 甲醇 清洗溶剂
43,58 丙酮 清洗溶剂
78 苯 清洗溶剂
91,92 甲苯 清洗溶剂
105,106 二甲苯 清洗溶剂
151,153 氯仿 清洗溶剂
69 前级泵油或PFTBA 前级泵油蒸汽或校正阀漏气
73,147,207,221,281, 二甲苯硅氯烷 隔垫或柱流失
295,355,429
77,94,115,141,168, 扩散泵油及相关离子 扩散泵液
170,262,354,446
149 增塑剂(苯二甲酸酯类) 高温下真空密封(O型圈)损坏
间隔n14离子 烃类 指纹、前级泵油
一家之言,望高手补充。