主题:我们的JEM-2010电镜的BEAM CURRENT数值不稳定是什么原因?

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tygk98
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以前电压从20KV升到200KV后,BEAM CURRENT的数值显示为103,打开灯丝过一段时间后,BEAM CURRENT的数值显示为105,始终很稳定。

    但从本周一开始,出现了一个新情况:电压从20KV升到200KV后,BEAM CURRENT的数值显示为109或110(并且不稳定,老是在109和110之间闪动),打开灯丝过一段时间后,BEAM CURRENT的数值显示为111或112,也是不稳定,老是在110和111之间闪动。

    昨天上午换样时,刚把样品杆拉到第一步,就发现BEAM CURRENT的数值变成0了,同时[HT]按钮的灯也灭了。换完样品后,又按亮[HT]按钮,看到BEAM CURRENT的数值显示为86。又通过键盘把电压降到160KV,然后升到180KV,再升到200KV。此时,BEAM CURRENT的数值显示为109或110(并且不稳定,老是在109和110之间闪动),打开灯丝过一段时间后,BEAM CURRENT的数值显示为111或112,也是不稳定,老是在110和111之间闪动。
    在看样过程中,BEAM CURRENT的数值也很不稳定,一会显示为111~112,一会又显示为108~109,有时还会变为98~99。光斑也随之变得一会亮,一会暗;一会大,一会小,致使无法正常看样。
    中午我们就把电压降到了20KV,并关机了一段时间后,重新开机,分段升压到200KV,BEAM CURRENT的数值显示为105或106(并且不稳定,老是在105和106之间闪动)。下午3点多,打开灯丝过了一段时间后,BEAM CURRENT的数值显示为107或108,也是不稳定,老是在107和108之间闪动,好在还可以观看试样。看试样看了大约1小时后,光斑突然消失,此时发现BEAM CURRENT的数值变成68,但[HT]按钮的灯还亮着。关闭灯丝后继续观察了一个多小时,看到BEAM CURRENT的数值又自动慢慢上升到了100,后来又自动降到了78。

    大家以前有没有遇到过这种情况?原因是什么?如何解决?
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天黑请闭眼
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你看看高压箱的气体压力,是不是降的比较厉害。听你的描述好像是高压不稳,如果是这样,你要给高压箱充SF6气体。具体可以问问日本电子的工程师。
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原文由 shxie 发表:
你看看高压箱的气体压力,是不是降的比较厉害。听你的描述好像是高压不稳,如果是这样,你要给高压箱充SF6气体。具体可以问问日本电子的工程师。


我看了高压箱的压力表,指针在0.01~0.015之间,应该是正常的啊。
天黑请闭眼
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原文由 tygk98 发表:
我看了高压箱的压力表,指针在0.01~0.015之间,应该是正常的啊。

那就不知道了,我的压力低于0.01呢。
你打电话问问工程师,他们很乐意给你解答的,如果你自己能解决,学到东西还省钱呢,呵呵。
怪味陈皮
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以前也碰到过beam current的值来回跳动,一般是在104和105,不过过一段时间就会稳定下来。shxie说的有道理,可能是高压的事。
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原文由 ustb 发表:
以前也碰到过beam current的值来回跳动,一般是在104和105,不过过一段时间就会稳定下来。shxie说的有道理,可能是高压的事。


是不是需要更换灯丝了?
天黑请闭眼
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原文由 tygk98 发表:
是不是需要更换灯丝了?

这个不是灯丝的问题,是灯丝电流正好在104和105之间,一点波动就会让数值发生变化,其实没有问题。你的波动实在太大了,建议检查高压箱。
tygk98
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原文由 shxie 发表:
原文由 tygk98 发表:
是不是需要更换灯丝了?

这个不是灯丝的问题,是灯丝电流正好在104和105之间,一点波动就会让数值发生变化,其实没有问题。你的波动实在太大了,建议检查高压箱。


    今天中午把电压降到20KV后,关机了一段时间,然后重新开机,把电压从20KV分级升到200KV后,BEAM CURRENT的数值显示为78。打开灯丝过一段时间后,BEAM CURRENT的数值显示为80,但只能显示一点非常微弱的光斑,还是无法看试样。

    如何解决,请予以指点。谢谢!
怪味陈皮
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原文由 tygk98 发表:
    今天中午把电压降到20KV后,关机了一段时间,然后重新开机,把电压从20KV分级升到200KV后,BEAM CURRENT的数值显示为78。打开灯丝过一段时间后,BEAM CURRENT的数值显示为80,但只能显示一点非常微弱的光斑,还是无法看试样。

    如何解决,请予以指点。谢谢!

200kV BEAM CURRENT的数值显示为78,太低了,应该102才对。栅偏压是多少?灯丝用了多长时间了?能看到灯丝像吗?
tygk98
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原文由 ustb 发表:
原文由 tygk98 发表:
    今天中午把电压降到20KV后,关机了一段时间,然后重新开机,把电压从20KV分级升到200KV后,BEAM CURRENT的数值显示为78。打开灯丝过一段时间后,BEAM CURRENT的数值显示为80,但只能显示一点非常微弱的光斑,还是无法看试样。

    如何解决,请予以指点。谢谢!

200kV BEAM CURRENT的数值显示为78,太低了,应该102才对。栅偏压是多少?灯丝用了多长时间了?能看到灯丝像吗?



栅偏压是5-4。

灯丝用了一个多月。

现在光斑亮度太暗,看不到灯丝像。
tygk98
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