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主题：请教高密度光栅在STEM测量条件下的样品制作方法

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yanyanzhang
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发表于：2003/12/22 16:50:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
高密度石英光栅（线密度在600线/毫米以上）或光刻胶光栅，如果简单地用金刚石刀机械划开，再用502胶粘在玻璃片上，使光栅刻线方向垂直于水平面（即光栅与下面的玻璃片正交地粘在一起），镀金后进行 STEM 测量。结果很难发现光栅像，可能已将光栅刻痕划坏了。不知如何制作光栅样品？请帮忙指教，非常感谢！
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2003/12/29 4:17:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用塑料－碳二级复型方法试试，我们曾经用这种方法做过1250/mm的光栅复型。
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shawn
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2004/2/12 12:10:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用聚焦离子束刻蚀的方法试试！
样品制备极其简单而且可以直接进行TEM观察。
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手机版： 请教高密度光栅在STEM测量条件下的样品制作方法
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