原文由 tutm(tutm) 发表:
测量精度,0.1%,这应该尺寸测量精度,还算蛮明确的吧
灵敏度,15nm,这个应该是有效分辨率或检出限吧
位移分辨率,<0.5nm,这个是最小分辨率或理论分辨率吧
我对灵敏度的理解是“仪器识别有效信号的能力”,所以15nm是仪器能有效识别出来的信号。
在DSC中,对分辨率的理解是“分离相邻信号的能力”,在TMA中怎么理解呢?
如果认为“位移分辨率,<0.5nm,这个是最小分辨率”,矛盾出现了: 仪器只能有效识别最小15nm的信号,那么如何能给出<0.5nm的分辨率?所以我认为这里的分辨率可能是噪音,可能是仪器能感知到但却不能与噪音分离开的最小信号,但是不应该用“分辨率”来命名。
也可能是“理论分辨率”,只是仪器的最小位数,数学上的东西?