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主题：请问各位大虾，有没有人了解SIMS主要用在哪个方面，主要应用领域是什么呢？

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zsdzsdzsd
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发表于：2003/04/11 18:36:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问各位大虾，有没有人了解SIMS主要用在哪个方面，主要应用领域是什么呢？
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2003/4/11 21:10:30 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请看下面的专著:<br>
二次离子质谱与离子探针 <br>
<br>
作者：季桐鼎等编著. <br>
<br>
出版社：北京：科学出版社 <br>
总页数：184页. <br>
<br>
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Li Li
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2003/4/13 9:04:50 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
If you are interested in the product, you may contact Mr. Zheng for SIMS, he will provide Hiden"s SIMS.<br>
<br>
Tel:010-64447150/7151<br>
Email:zheng@rakon.com.cn
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luorry
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2009/7/6 17:29:58 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zsdzsdzsd 发表:
请问各位大虾，有没有人了解SIMS主要用在哪个方面，主要应用领域是什么呢？


SIMS，二次离子质谱
利用一次离子束轰击样品，激发出二次离子，收集并进行质谱分析

主要应用在高纯材料中的杂质分析，半导体掺杂，扩散，离子注入的分析检测
对一些薄膜，沉积样品，做浓度 vs 深度的分析
可以做元素氢的分析，和小区域分析
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