主题:【求助】TF20 gun shift 怎么调?

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hhwchina
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最近发现TF20的beam被调成了三角形,大概是gun shift与condenser stigmation没有调好的原因。
调gun shift发现最亮点不在beam中或者在beam边沿,用MF-XY也拉不到中心。
请教1:这时如何调gun shift;
2: stigmation怎样调才能算调好了?
多谢!
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1 亮点不在中间不是用gun shift调的 是用gun tilt调的
2 spot size比较大的时候 大放大倍数下 beam的确是三角形的 调成对称的等角三角即可
hhwchina
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原文由 hhwchina(hhwchina) 发表:
gun shift是把亮点从边上拉到中央的。


是TF20? 那你照我说的做就可以了
如果差的很远 打电话联系FEI的工程师 咨询一下如何做Gun部分的alignment
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