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透射电镜（TEM）

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仪器社区 > 显微镜 > 透射电镜（TEM）帖子详情

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主题：[求助]求透射电镜截面样品的制作

浏览0 回复21 电梯直达

lijingcow

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发表于：2006/05/13 17:02:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

该帖子已被ustb设置为精华；

本人虽下载了王凤莲老师的 TEM样品制备技术的课件，有了一定收获，但觉得课件讲的还不够详细。
由于本人从未接触过电镜，故希望能看到更为详细的截面样品制备的说明。
本人的样品是蓝宝石上外延生长的GaN LED管芯，希望拍个截面照片以看到各个外延层及多量子阱等结构。

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2006/5/13 18:02:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

建议把你原来写的那个问题贴出来，并把图上传。

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lijingcow

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2006/5/18 22:07:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我的样品是蓝宝石上外延生长的GaN 发光二极管芯片，我想做透射
电镜获得样品的剖面像，即观察各个外延层。

我只知道制作透射电镜样品时要先对样品进行减薄，然后要进行钉薄，之后还要进行离子束减薄，最后在减薄的区域用电镜观察。

我不知道减薄的方向应该是如附件中图2所示还是应该如图3所示？两种方向减薄后，似乎都能暴露出样品的截面。

希望做过类似样品的高手指点一下，不胜感激！

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lijingcow

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2006/5/18 22:14:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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zjcybo

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2006/5/18 22:16:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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ustbedu

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2006/6/2 20:19:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你说的就是要做cross- section？
你的问题解决了么？我也要做这方面的式样，发愁阿，以前从来也没做过电镜
而且我的试样很薄，厚度只有100微米

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sma

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2006/6/2 20:34:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你可以参考附件中所说的方法,其中tripod polishing,据说不错

TEM试样准备

附件：

TEM试样准备

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ustbedu

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2006/6/2 21:35:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sma 发表:
你可以参考附件中所说的方法,其中tripod polishing,据说不错
TEM试样准备

谢谢你了！

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怪味陈皮

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2006/6/2 22:55:00 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

上传的资料不错，

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maxiaoye

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2006/6/4 18:46:00 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我做过硅基底的，透明薄膜的截面TEM分析，具体的步骤是：先用一种不怕丙酮的胶把两片约1.5mm*4.5mm大小的膜对粘起来，用小夹子夹紧在加热炉上放两个小时。然后把它粘在一个刚托上，两边站上玻璃配片，然后开始磨，磨到一定的程度再抛光，另一面也作同样的工作，最后整个对结膜约几十个微米厚。做完后把它粘到合适的铜环上，再用离子减薄机减薄。减薄到用放大镜看有大面积的透光即可拿到电镜上作分析了。

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