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主题：【求助】6890热导流量乱跳

浏览0 回复2 电梯直达
永恒的心
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发表于：2012/09/06 16:48:45 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
6890N热导流量乱跳，设定30实际值会跳到100多 热导检测器不能开启，显示Filament gas ﹤5ml ∕ min wait ref  是不是我的EPC坏了 ，求高手指导！
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2012/9/7 13:21:51 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
呵呵，没有遇到过这种情况。先问下，你说的实际值是机子显示的还是你测量的？？？
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zhongyao0601
zhongyao0601
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2012/9/8 14:16:57 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我估计是悲剧了，可能需要换EPC了
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