主题：问：关于Hitach 中low detector 和 high detector

原文由 fairychen 发表:


Hitachi S-4800, S-4700 & S-5200 都有 Low Detector and Upper Detector.事实上，这两个 Detector 都是属于  SE detector。

Upper  Detector 除了收集由样品本身产生的二次电子外，同时还会收集由 BSE 激发上电极板所产生的 SE. 所以 Upper Detector 所看到的图象因 SE 信号的增加解吸度会增加。

Low Detector 可以收集一些小角度的 BSE 以及SE.但是， Low D 和High D 所收集的 SE，因为 Primary Beam， 样品以及 Detector 三者的角度关系变化了，故 Low D 所收集的 SE 与 Upper D 所收集的 SE 它们所携带的是样品表面信息是来自不同角度的。另外由于 Low D 所探测的 BSE 相对与 Upper D 多一些，又由于 BSE 来源携带的是 样品的深度信息，所以 Low D 看到的图象解析度会比较差。

原文由 fairychen 发表:


Hitachi S-4800, S-4700 & S-5200 都有 Low Detector and Upper Detector.事实上，这两个 Detector 都是属于  SE detector。

Upper  Detector 除了收集由样品本身产生的二次电子外，同时还会收集由 BSE 激发上电极板所产生的 SE. 所以 Upper Detector 所看到的图象因 SE 信号的增加解吸度会增加。

Low Detector 可以收集一些小角度的 BSE 以及SE.但是， Low D 和High D 所收集的 SE，因为 Primary Beam， 样品以及 Detector 三者的角度关系变化了，故 Low D 所收集的 SE 与 Upper D 所收集的 SE 它们所携带的是样品表面信息是来自不同角度的。另外由于 Low D 所探测的 BSE 相对与 Upper D 多一些，又由于 BSE 来源携带的是 样品的深度信息，所以 Low D 看到的图象解析度会比较差。