主题:【求助】ICP点不着火了

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zhangen333444
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求救。我们的JY200-2型ICP无法点火已经有一个多星期了,尝试了很多方法,还是无法排除故障。
可以 听到尝试点火的啪啪声,之后就提示高压故障,偶尔提示氩气故障。 在此过程中,forward(正向功率):7.57→9.08→711→354→4.54;reflected(反射功率):0.59→155→199。 售后说是反射功率波动大了,正向功率不足所以点不了火,怀疑是矩管那块位置变动引起的,但是调整以后还是同样的问题。各位大侠,跪求高见。
该帖子作者被版主 beyond19774积分, 2经验,加分理由:鼓励发帖
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依风1986
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原文由 爆发吧,小宇宙(yw0108) 发表:
高压包坏掉啦吧。

这个坏掉就是价钱问题了?
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zhangen333444
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原文由 kk0247(kk0247) 发表:
有没检查下氩气纯度是不是达到要求了?

同样一瓶氩气,之前用得好好的,现在还有6个压呢
zhangen333444
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原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:
楼主仪器用了几年了,有可能是RF功率管坏了

还不到一年呢,用的又不是很频繁,不至于坏这么快吧
beyond1977
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悠旸
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RF部分损坏的可能性比较大,可能要花大价钱了。
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2012/11/2 16:05:57 Last edit by ihqs
sonne86400
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对啊 rf损坏大金钱是要花的啊  赛默的都要17万一个的 你要是在质保内 就免费了啊
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