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主题：【讨论】等离子体发射光谱需要什么气体.

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lch4147
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2012/12/17 22:58:12 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
PE的还有氮气接头，用来吹扫光室，一般用来做190nm以下的时候才用得到氮气，而且氮气贵，估计不少单位都不接氮气吧，我们这就没接过，貌似做As189nm跟193nm的结果也没什么区别……
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qxy04341708040
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2013/4/27 22:16:27 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
液氩作为等离子体气体。冷却水很重要哦。有一回我忘开了。差点把我矩管烧了
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