主题:【讨论】为什么我拍的高于10万倍的图片边缘总有毛刺?

浏览0 回复22 电梯直达
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yangyouran
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之前都没有吗?


机器使用一年半了,刚安装完成拍验收照片的时候是正常的,这两个月才发现的。


用了一年半,厂商来做过保养吗?另外,200K,WD可以在小点试试


还有保养这回事?没有来做过保养。
fengyonghe
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是高压发生器频率飘逸造成的。在观察二次电子像的条件下关掉电子束观察屏幕若有斜纹干扰即可断定高压发生器频率飘逸。需用示波器进行校正。



请问老师,怎么关掉电子束观察屏幕啊?


关掉灯丝电流。
小M
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welsey
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STAGE LOCK试过吗?


没有,总觉得stage lock没啥作用,下次我试试。


STAGE LOCK可以减弱震动对影像的影响,如果LOCK后毛刺没有任何改善,一般可以排除掉震动的原因,可以考虑磁场的原因或者是因IP真空不好导致的noise。
hhwchina
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这么好的机器都买了,居然没有做过保养。
上面几位基本上把原因讲清楚了。lock stage必须做。而且时间长了,要检查chamber中lock stage的位置了。还有就是电磁场了和振动了。防震台也不能防止低频电磁场的影响。可以看看附近 有没有新装电梯,高压电线等。
小M
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yinghu723
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这种情况大多是环境影响原因,在夜深人静的时间试一试。
kfcontrol
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是高压发生器频率飘逸造成的。在观察二次电子像的条件下关掉电子束观察屏幕若有斜纹干扰即可断定高压发生器频率飘逸。需用示波器进行校正。



请问老师,怎么关掉电子束观察屏幕啊?


关掉灯丝电流。


冯老师,你帮我看看我这个有毛刺是什么原因?
airlice
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试试把样品台升到报警?最可能原因是样品台震动。还有就是电网内有没有接入大功率用电器。
unht
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