主题：【讨论】为什么启动分子泵时，真空度反而变差了？

原文由 雾非雾(mcds) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:

原文由 千层峰(jxyan) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:
这个是正常的，低真空的真空规在机械泵和分子泵之间，开分子泵后会有大量气体被分子泵抽出，会通过低真空规，导致真空度变差，开一段时间久正常了。

不知安捷伦，热电和PE气质有没这现象呢。。

安捷伦貌似都不怎么装分子规的，PE的不清楚，没用过。

其实把真空规标配又不能增加多少成本，但对于真空情况判断确实非常直观，简便，有时真的想不明白安的设计者都是怎么考虑的。

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:

原文由 千层峰(jxyan) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:
这个是正常的，低真空的真空规在机械泵和分子泵之间，开分子泵后会有大量气体被分子泵抽出，会通过低真空规，导致真空度变差，开一段时间久正常了。

不知安捷伦，热电和PE气质有没这现象呢。。

安捷伦貌似都不怎么装分子规的，PE的不清楚，没用过。

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:

原文由 千层峰(jxyan) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:
这个是正常的，低真空的真空规在机械泵和分子泵之间，开分子泵后会有大量气体被分子泵抽出，会通过低真空规，导致真空度变差，开一段时间久正常了。

不知安捷伦，热电和PE气质有没这现象呢。。

安捷伦貌似都不怎么装分子规的，PE的不清楚，没用过。

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:

原文由 千层峰(jxyan) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:
这个是正常的，低真空的真空规在机械泵和分子泵之间，开分子泵后会有大量气体被分子泵抽出，会通过低真空规，导致真空度变差，开一段时间久正常了。

不知安捷伦，热电和PE气质有没这现象呢。。

安捷伦貌似都不怎么装分子规的，PE的不清楚，没用过。

只有高真空规。

原文由 千层峰(jxyan) 发表:

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:

原文由 千层峰(jxyan) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:
这个是正常的，低真空的真空规在机械泵和分子泵之间，开分子泵后会有大量气体被分子泵抽出，会通过低真空规，导致真空度变差，开一段时间久正常了。

不知安捷伦，热电和PE气质有没这现象呢。。

安捷伦貌似都不怎么装分子规的，PE的不清楚，没用过。

只有高真空规。

请问朱老师，你用安捷伦的机器那么久了，有出现过在开分子泵后，真空变差的情况吗？

原文由 千层峰(jxyan) 发表:

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:

原文由 千层峰(jxyan) 发表:

原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:
这个是正常的，低真空的真空规在机械泵和分子泵之间，开分子泵后会有大量气体被分子泵抽出，会通过低真空规，导致真空度变差，开一段时间久正常了。

不知安捷伦，热电和PE气质有没这现象呢。。

安捷伦貌似都不怎么装分子规的，PE的不清楚，没用过。

只有高真空规。

请问朱老师，你用安捷伦的机器那么久了，有出现过在开分子泵后，真空变差的情况吗？

原文由 雾非雾(mcds) 发表:

原文由 千层峰(jxyan) 发表:
每次开机都是先让机械泵抽真空十几分钟，当真空指示箭头指向绿色区域，
此时真空度在1.0pa，然后打开分子泵，真空度变差，指示箭头指着黄色区域，
真空度为1.6pa，仪器是Qp2010se。
请问大家在用气质时，有发现相同情况吗？是什么原因呢？

SE听工程师说是一个双头单泵，不知道是不是这个原因，我们用的2010是双泵，好像没有这个现象。

原文由 千层峰(jxyan) 发表:
每次开机都是先让机械泵抽真空十几分钟，当真空指示箭头指向绿色区域，
此时真空度在1.0pa，然后打开分子泵，真空度变差，指示箭头指着黄色区域，
真空度为1.6pa，仪器是Qp2010se。
请问大家在用气质时，有发现相同情况吗？是什么原因呢？

原文由 yooln(yooln) 发表:

原文由 千层峰(jxyan) 发表:
每次开机都是先让机械泵抽真空十几分钟，当真空指示箭头指向绿色区域，
此时真空度在1.0pa，然后打开分子泵，真空度变差，指示箭头指着黄色区域，
真空度为1.6pa，仪器是Qp2010se。
请问大家在用气质时，有发现相同情况吗？是什么原因呢？

这个在岛津的maas里头应该正常，岛津的真空传感器有两个，一个是高真空用的离子规装在真空腔上，另一个是皮拉尼装在机械泵和涡轮泵之间的管路上，当分子涡轮泵启动的时候把真空腔的气体抽到机械泵这边了所以真空度反而下降了。